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Série SYRUSpro de instalações para deposição de filmes metálicos a vácuo de ótica de precisão

Série SYRUSpro de instalações para deposição de filmes metálicos a vácuo de ótica de precisão –A referência para uma produção de volume 24 horas por dia, 7 dias por semana de filtros óticos

- Câmaras para todos os requisitos de capacidade de carga
- Componentes-chave para atender demandas individuais
- Adaptável para aplicações DUV e IR

Série SYRUSpro

A série SYRUSpro da Bühler Leybold Optics é uma plataforma líder do setor na produção de volume com alta precisão e níveis de rendimento de revestimentos óticos para ótica de precisão. Os aplicadores SYRUSpro são ideais para aplicações de gama de espectro ultravioleta profundo (DUV) passando pelo espectro visível (VIS) até o infravermelho (IR). A variedade de revestimentos abrange filtros de borda (passagem longa e curta), filtros de corte UV–IR, filtros de entalhe e filtros passa-banda estreitos, filtros coloridos dicróicos e separadores de feixes polarizados, revestimentos AR e HR para lasers e muito mais. Cada SYRUSpro é equipado conforme os requisitos do cliente com um grande número de componentes padronizados e de propriedade da Bühler Leybold Optics. Isso permite uma atualização simples para atender aos requisitos de processo em constante crescimento. Além disso, o sistema de controle de processo de ponta da Bühler Leybold Optics une a alta flexibilidade de programação com os níveis máximos de automação. Todos esses atributos se combinam para oferecer índices de rendimento altos e muito precisos da produção ininterrupta 24 horas por dia, 7 dias por semana, de volume de filtros óticos. Tamanhos de câmaras diferentes para flexibilidade máxima
Os aplicadores SYRUSpro estão disponíveis em oito tamanhos de câmara diferentes com diâmetros internos de 710 mm a 2810 mm. Isso significa que podemos oferecer uma câmara correspondente para atender perfeitamente as capacidades de carga e tamanhos de substrato definidos por nossos clientes. Como exemplo, nossas câmaras de 1950 mm ou 2810 mm são plataformas ideais para tamanhos de substratos extremos.

Ampla gama de componentes para uma variedade de processos

  • O uso extensivo de componentes-chave desenvolvidos e fabricados pela Bühler Leybold Optics oferece a base para a grande variedade de processos confiáveis para nossos clientes e possui um papel de importância no sucesso deles.
  • A ampla diversidade no portfólio de componentes da Bühler Leybold Optics significa que os aplicadores SYRUSpro são altamente flexíveis quando se trata de adequar os sistemas conforme as exigências do cliente. Sistemas como o sistema de monitoramento ótico local LEYBOLD OPTICS OMS 5100 e as fontes de plasma LEYBOLD OPTICS LION 300 e LEYBOLD OPTICS APSpro fazem parte do portfólio. Uma grande seleção de evaporadores de raios de elétrons, evaporadores térmicos, sistema de medição de quartzo e sistemas de rotação planetária ampliam a capacidade de adaptação da série SYRUSpro.

O sistema pode ser otimizado para aplicações DUV
A Bühler Leybold Optics desenvolveu soluções de sistemas otimizadas para aplicações de fotolitografia no comprimento de onda de 193 nm. Essas soluções incluem superfícies de câmara com tratamento especial, materiais selecionados e configurações de componente individualizados para garantir o mínimo de perdas para os revestimentos. Essas medidas também são essenciais na aplicação de revestimentos de óxido, criando revestimentos de espelho estável e livre de deslocamento com valores altos de reflexão necessários nas aplicações DUV.

Disponibilidade de sistemas para aplicações de infravermelho
Para atender os requisitos especiais das aplicações de infravermelho, o design da máquina pode ser perfeitamente adaptado e seus componentes ajustados para processar grandes quantidades de materiais de revestimento de infravermelho. Os substratos lisos e altamente curvados com necessidade de boa uniformidade também podem ser revestidos com uma performance de camada excelente em toda a superfície e curvatura.

Sobre a Bühler Leybold Optics

No início de 2012, a Leybold Optics GmbH se tornou uma subsidiária do Grupo Bühler com sede na Suíça: a Business Unit Leybold Optics, que legalmente ganhou o nome de Bühler Alzenau GmbH em 2015, opera sob a divisão Advanced Material do Grupo Bühler.