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Série NESSY de instalações para deposição de filmes metálicos a vácuo de ótica de precisão

Série NESSY de instalações para deposição de filmes metálicos a vácuo de ótica de precisão –O equipamento de pulverização para aplicações EUV

- Alto potencial de aplicação
- Uniformidade de espessura incomparável
- Qualidade de filme de estequiometria perfeita

Série NESSY

A série NESSY é o sistema de pulverização de magnetron de última geração da Bühler Leybold Optics. Ela é dedicada à produção de revestimentos de espelhos de ultravioleta extremo (EUV) sob condições de ultra-alto vácuo (UHV) e é desenvolvida para a produção em massa e para o desenvolvimento de novos produtos. Os aplicadores NESSY podem ser equipados com até seis cátodos de pulverização retangular diferentes e podem usar molibdênio e silício, junto com outros materiais que são essenciais para conseguir um revestimento de espelho completo. Como resultado, uma pilha de revestimento completa pode ser executada em um ciclo. Aplicações inovadoras com um aplicador pronto para o futuro
  • Os espelhos multicamadas de molibdênio e silício com reflectância máxima em um comprimento de onda de 13,5 mm se tornaram um clássico na tecnologia de reflexão. Esses espelhos são indispensáveis como espelhos de condensadores ou projetor no equipamento de litografia de última geração.
  • Além da litografia EUV, os espelhos de interferência multicamadas podem ser usados em dispositivos de medição de raio-X, óticas de radiação de síncrotron e outras aplicações científicas sofisticadas. A grande variedade de substratos complexos fazem do NESSY a escolha perfeita para o desenvolvimento de aplicações e componentes modernos.

Desenvolvido para precisão e uniformidade de espessura incomparável

  • Enquanto a fonte de pulverização e o processo de deposição oferecem uma estabilidade excelente, a administração cuidadosa do movimento do substrato também é de extrema importância. O suporte do substrato foi desenvolvido para ter um sistema de rotação planetário duplo. A rotação de substrato direta de alta velocidade trabalha em combinação com uma rotação de baixa velocidade em torno da câmara com perfis de velocidade programáveis. Isso permite uma adaptação perfeita às várias geometrias de substrato dos espelhos.
  • Para espessuras de camada de 7 nm, os aplicadores NESSY são as ferramentas para conseguir os valores de uniformidade subatômicos incomparáveis em óticas EUV para a última geral de litografia de foto.
  • A distância de pulverização ajustável permite a flexibilidade necessária para diferentes espessuras de substrato.

A pressão de ultra-alto vácuo oferece uma qualidade de filme superior
O design altamente sofisticado e a fabricação do equipamento NESSY permite uma pressão de ultra-alto vácuo e, assim, também se adequa à qualidade de filme estequiométrico perfeita.

Sobre a Bühler Leybold Optics

No início de 2012, a Leybold Optics GmbH se tornou uma subsidiária do Grupo Bühler com sede na Suíça: a Business Unit Leybold Optics, que legalmente ganhou o nome de Bühler Alzenau GmbH em 2015, opera sob a divisão Advanced Material do Grupo Bühler.