close
LEYBOLD OPTICS FLC 柔性电子产品真空镀膜机

LEYBOLD OPTICS FLC 柔性电子产品真空镀膜机 ——用于生产和研发的高真空溅射绕卷式镀膜

- 具备出色生产力、通用性和灵活性的系统
- 始终如一的出色成品质量
- 易于维护,运行时间长
- 设计紧凑

LEYBOLD OPTICS FLC 650

LEYBOLD OPTICS FLC 650 是一种用于生产和研发目的的高真空溅射绕卷式镀膜系统。在生产环境中,最大镀膜宽度为 650 mm、最大基底卷直径为 500 mm 且卷绕速度在 0.1 和 25.0 m/min 之间的设备可提供出色的生产力。另外,它可布置带有金属或绝缘靶材的最多六个可旋转磁控管的几乎无限可能,以及可应用种类繁多的原位测量传感器的能力,使得 LEYBOLD OPTICS FLC 650 可应对广泛的光学和柔性电子产品应用。对于 ITO 膜、柔性印刷电路板 (FPCB)、低辐射 (low-e) 或智能玻璃等应用,该设备是完美的选择。 采用通用性和灵活性极高的系统,实现出色的生产力
  • LEYBOLD OPTICS FLC 650 的高生产力直接得益于它可布置多达六个高速率可旋转磁控管、最大镀膜宽度达到 650 mm 且基底卷直径可达 500 mm。
  • 安装在可移动腔室法兰上的磁控管结合相邻工序段之间可选的气体分离,使得 LEYBOLD OPTICS FLC 650 系统的通用性极高且一次通过即可沉积种类繁多的多层膜。
  • 除了能够紧接非反应性溅射工序运行反应性溅射工序外,LEYBOLD OPTICS FLC 650 还可配备各种原位传感器。

采用智能设备理念,实现始终如一的出色成品质量

  • 磁控管的“向上溅射”定向以及可旋转阴极自身确保了产生尽可能最少的颗粒,从而实现完美的层属性。
  • 闭环张力控制 (25 … 600 N) 结合各种卷绕系统选件和辊筒表面细化保证了各别基底的无刮痕和无皱褶卷绕。如有需要,可选择的等离子体预处理可确保完美的膜层粘着力,同时温度可控镀膜转鼓 (-15 … +80 °C) 可在沉积工序期间保持基底的完美状况。
  • 最后,可用的原位传感器可实现层电阻率、反射率或透射率等所要物理层性质的连续精确监控。

采用智能稳健的设计,实现轻松的维护和极长的设备运行时间

  • LEYBOLD OPTICS FLC 650 稳健智能的设计可将维护降到最低水平,可轻松触及所有可检修的零部件且易于维护,确保了极长的设备运行时间。
  • 设备在清洁和维护时的轻松和出色的可触及性,将产生颗粒的可能性降至最低水平。
  • 磁控管、电源和真空泵组等关键部件的设计可实现连续三轮换的设备操作。这些特性使得该系统能应对一年数十万到数百万基底的产量,具体取决于膜堆和性质。

采用紧凑的设计,所需占地空间降至最低水平
LEYBOLD OPTICS FLC 650 多合一腔室设计使其极为紧凑且易于搬运,这可实现快速简单的安装或搬迁。该系统仅需极低的占地空间(总计 70 m²)。

关于布勒莱宝光学

在 2012 年初,Leybold Optics GmbH 成为总部位于瑞士的布勒集团的子公司:莱宝光学业务部,于 2015 年依法更名为 Bühler Alzenau GmbH,在布勒集团内的先进材料事业部下运营。

联系我们

布勒莱宝光学设备(北京)有限公司 北京经济技术开发区永昌南路2号 5号厂房
邮 编:100176
电话:  010 - 5379 3366
传真:  010 - 6780 3336
邮箱:leyboldoptics.beijing@buhlergroup.com 欲了解更多信息,请点击此处。