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HELIOS 系列精密光学真空镀膜机

HELIOS 系列精密光学真空镀膜机 ——用于顶级镀膜产品的高精度和高良率平台

- 用于原子规模极薄层的精密控制的 PARMS 工艺技术
- 工艺稳定性极高
- 共溅射可实现高低折射指数
- 标杆级激光镀膜性能

HELIOS 系列

布勒莱宝光学的 HELIOS 系列是用于快速、精准和全自动化薄膜镀膜的灵活性平台。其设计专门针对高质量光学镀膜,其特点为以高良率和高产量实现精巧的滤光片设计。极为密集、平滑、化学计量和无定形层确保了无与伦比的光学性能。用于原位基底上测量的光学监控系统提高了层厚度控制的最终精度。 出色的生产力和层质量
  • 高水准的等离子体辅助反应式磁控溅射 (PARMS) 技术可借助射频 (RF) 等离子体源以实现高生产力的高沉积速率从金属靶材进行介电镀膜的沉积,从而生产具有原子规模高精度和高亮度的顶级产品。
  • 在每次旋转期间,一个压化学计量氧化物薄层由选中的双磁控管沉积并在通过 RF 源的氧等离子体的同时转移至非吸收性层。该方法即使在从金属靶材进行溅射时也可确保低的损耗和完美的化学计量效果。

光学监控便于实现高生产稳定性

  • 直接基底上原位光学监控是使用一个位于旋转转台内基底位置之一的测试镜以间歇模式进行。这可实现镀膜的高生产稳定性和可重复性。
  • 快速旋转转台可生产几纳米和高精度的极薄层。
  • 可将光学设计直接快速地转化为生产使得 HELIOS 系列成为多种滤光片设计高精度生产的完美选择。

共溅射确保实现中间折射指数
共溅射可实现介于已安装高低指数材料之间任意折射指数。另外,通过使用一或多个中间指数可针对多个应用实现更简单的设计,如偏振分光器。

用于激光镀膜的标杆级激光损坏阈值
低指数 SiO2 材料的 RF 溅射与高指数材料的 MF 溅射相结合可实现激光镀膜的高损坏阈值、低散射和高反射率。布勒莱宝光学的 HELIOS 镀膜机如何树立激光镀膜的性能标杆的进一步展示。

关于布勒莱宝光学

在 2012 年初,Leybold Optics GmbH 成为总部位于瑞士的布勒集团的子公司:莱宝光学业务部,于 2015 年依法更名为 Bühler Alzenau GmbH,在布勒集团内的先进材料事业部下运营。

联系我们

布勒莱宝光学设备(北京)有限公司 北京经济技术开发区永昌南路2号 5号厂房
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