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用于材料沉积的部件

材料分布高速均匀

决定成品质量的最重要特性之一是薄膜的均匀性和重复性。与此相结合,设备及其部件应可实现材料的高沉积速率,以此应对质量和生产力不断增长的需求。布勒莱宝光学设计并制造高端部件从而满足此类需求。 布勒莱宝光学蒸发器——

热电阻蒸发器——
对于许多眼镜镀膜工艺,使用舟式电阻源的热蒸发至关重要。布勒莱宝光学提供范围广泛的型号,其采用不同数量和体积的蒸发舟。SYRUS 系列和 LEYBOLD OPTICS ECS 系列箱式镀膜系统巧妙的模块化理念可在型号的定位和选择上提供很高的灵活性。与相应的电子束和等离子体源相结合,可针对每种应用实现最理想的设备配置。

电子枪
布勒莱宝光学以薄膜技术和电子枪方面数十载的经验为基础,已经开发出 LEYBOLD OPTICS HPE 系列电子枪。该系列用于范围极为广泛的镀膜材料的蒸发,如氧化物、氟化物、金属和硫化物。HPE 技术主要用于箱式镀膜机,应用于光学产品、电子产品和光电领域。

溅射源
通过溅射沉积技术的使用,可在高真空条件下以高沉积速率对基底进行金属、氧化物和已氧化金属等薄膜材料的镀膜。在需要极密集层、特殊材料组成或损耗较低的膜层的情况下,溅射技术将是完美的选择。布勒莱宝光学涵盖了从单一到双磁控管布置,从平面靶材设置到可旋转靶材设置以及从利用 MF 溅射的直流溅射到 RF 溅射的全部应用。

关于布勒莱宝光学

在 2012 年初,Leybold Optics GmbH 成为总部位于瑞士的布勒集团的子公司:莱宝光学业务部,于 2015 年依法更名为 Bühler Alzenau GmbH,在布勒集团内的先进材料事业部下运营。

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