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用于材料沉积的部件

高速率的均匀材料分布

决定成品质量最重要的特性之一是已涂覆的薄膜层的均匀性和可重复性水平。与此相结合,该设备及其部件应可实现高材料沉积速率从而应对对质量和生产力不断增长的需求。布勒莱宝光学设计和制造的部件可满足此类需求。

布勒莱宝光学蒸发器

热电阻蒸发器
对于许多眼科工艺,使用船型电阻源的热蒸发是至关重要的。布勒莱宝光学提供采用不同船数和体积的种类繁多的型号。SYRUS 系列和 LEYBOLD OPTICS ACE 系列箱式镀膜系统的独创性模块化理念可在定位和型号选择方面提供很好的灵活性。与合适的电子束和等离子体源相结合,可针对每种应用实现最合理的设备配置。

电子枪
莱宝光学基于在薄膜技术和电子枪领域数十年的经验开发出了 LEYBOLD OPTICS HPE 系列电子枪。该系列用于范围极为广泛的镀膜材料的蒸发,如氧化物、氟化物、金属和硫化物。HPE 技术主要用于箱式镀膜机和光学产品、电子产品和光电领域。

溅射源
通过溅射沉积技术的使用,可在高真空条件下以高沉积速率对基底进行金属、氧化物和已氧化金属等薄膜材料的镀膜。在需要极密集层、特殊材料组成或损耗较低的层的情况下,溅射技术将是完美的选择。布勒莱宝光学提供从单一到双磁控管布置,从平面靶材设置到可选择靶材设置以及从利用 MF 溅射到利用 RF 溅射的直流溅射的完整覆盖。

关于布勒莱宝光学

在 2012 年初,Leybold Optics GmbH 成为总部位于瑞士的布勒集团的子公司:莱宝光学业务部,于 2015 年依法更名为 Bühler Alzenau GmbH,在布勒集团内的先进材料事业部下运营。

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