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Technologien für Hochvakuum-Dünnschichtanwendungen

Schichtauftrag zur Verbesserung eines Materials

Bühler Leybold Optics ist einer der führenden Systemhersteller der Dünnschichtbedampfungstechnologie unter Hochvakuum. Hierbei kann es sich im Falle einer Verpackungsfolie um eine Feuchtigkeitsbarriere, die reflektierende Schicht eines Fahrzeug-Scheinwerferreflektors, eine Antireflexschicht, ein komplexes Filterschichtsystem für optische Komponenten, hochreflektierende und geschützte Schichten für astronomische Spiegel oder ein Wärmedämmungs-Schichtsystem für architektonische Verglasungsanwendungen handeln. Die Dicken der Dünnschichten reichen von Nanometern bis zu Mikrometern, und es kann sich um eine einzelne Schicht oder um Schichtsysteme aus mehreren hundert Schichten handeln, wie dies bei optischen Filtern der Fall ist.

Bei der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) mit thermischer Verdampfung oder Elektronenstrahl-Verdampfung sowie beim Sputtern wird ein massives Bedampfungsmaterial verwendet. Bei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) werden jedoch Gase oder flüssige Ausgangsmaterialien genutzt.

Wir bieten das komplette Spektrum der Vakuum-Dünnschichttechnologien, darunter das Verdampfen, das Sputtern, die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) und Technologieverbesserungen wie z. B. das plasmaunterstützte reaktive Magnetron-Sputtern (PARMS). Bei Massenproduktionssystemen stehen mehrere Prozesssteuerungen vor Ort zur Verfügung. Unsere Systeme können winzige Substrate mit einer Stärke von wenigen Millimetern bis hin zu extrem grossen Glasplatten mit mehr als 20 m² zur Verwendung in der Architektur beschichten. Die Substrate können starr oder flexibel sein, wie beispielsweise in der Verpackungsindustrie oder bei der Herstellung elektronischer Kondensatoren.