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Komponenten für Dünnschichtbehandlungen

Massgeschneiderte Dünnschichteigenschaften

Während der Aufdampfphase und selbst nach dem Aufbringen des Bedampfungsmaterials auf die Substrate, besteht die Möglichkeit, die Merkmale der aufgetragenen Schicht durch Ionenbeschuss zu beeinflussen und so ihre mechanischen bzw. optischen Eigenschaften zu verändern. Bühler Leybold Optics bietet eine grosse Vielzahl an selbst entwickelten Ionenquellen, um die jeweiligen Prozessanforderungen in Abhängigkeit von der Grösse der Beschichtungskammer zu erfüllen.

Plasmaquellen

LEYBOLD OPTICS LION
Die LEYBOLD OPTICS LION RF Ionenquelle beruht auf dem Prinzip der Elektronen-Zyklontron-Wellenresonanz (Electron Cyclotron Wave Resonance, ECWR). Sie ist vollständig in das Steuerungssystem von Bühler Leybold Optics integriert und bietet alle Vorteile eines modernen Prozessbetriebs. Mit ihrer einfachen Rasterkonstruktion ist die Quelle wartungsfreundlich und sorgt für niedrige Produktionskosten. LEYBOLD OPTICS LION 300 wurde speziell für große Beschichtungssysteme wie beispielsweise SYRUSpro 1350 und SYRUSpro 1510 entwickelt, diese Systeme ermöglichen einen großen Produktionsausstoß und hohe Schichtqualität.

LEYBOLD OPTICS APSpro
Die LEYBOLD OPTICS APSpro Technologie sorgt für eine maximale Leistung und Produktivität in der optischen Dünnschicht-beschichtungsindustrie. Diese Technologie bietet die einmalige Möglichkeit, bei niedrigen Temperaturen und ohne zusätzliches Aufheizen, versatzfreie optische Schichten auf Materialien mit niedrigem und hohem Brechungsindex zu erzeugen. Der PIAD-Prozess (plasma-ionengestützte Beschichtung) wird hauptsächlich für Beschichtungsstoffe wie z. B. Metalloxide und Nitride verwendet, er kann aber auch bei Anwendungen mit Reinmetallen und nichtmetallischen Oxiden eingesetzt werden.

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