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DEIMOS Vacuum Coater

DEIMOS Vacuum Coater – Für die High-End-Beschichtung astronomischer Spiegel

- Höchste Reflexion und Haltbarkeit der Beschichtung
- Ausgezeichnete Schichtgleichmäßigkeit
- Perfekte Zugänglichkeit

DEIMOS 5500

Das von Bühler Leybold Optics hergestellte neue Sputtersystem DEIMOS 5500 dient zur Beschichtung astronomischer Spiegel mit Durchmessern von bis zu 4,5 m. Das System ist für Metall- und dielektrische Schichten mit vier Magnetron-Kathoden ausgerüstet. Aluminium- und Silberspiegel können normalerweise mit Schutz- und Unterstützungsschichten hergestellt werden, um den höchsten Grad an Reflexion und Haltbarkeit zu erzielen. Vier Kathoden für geschützte und verbesserte Spiegel
  • Mit den von Bühler Leybold Optics selbst entwickelten Magnetron-Kathoden können Spiegel aus Aluminium- (Al) oder Silberschichten (Ag) hergestellt werden.
  • Insgesamt sind vier Sputter-Targets mit einer gepulsten DC- oder DC-Sputter-Stromversorgung möglich. Die Kathodenneigung kann an die gekrümmten Spiegelflächen angepasst werden, das sorgt für eine ausgezeichnete Schichtverteilung auf der gesamten Fläche der einzelnen Spiegel.

Vorreinigung mit Glimmentladung

  • Die Substrat- und Kammerkonditionierung mit MF- und DC-Glimmentladung ist die beste Vorbereitung, um optimale Beschichtungsresultate zu erzielen und so die extrem hohen Qualitätsanforderungen für astronomische Spiegel zu erfüllen.

Intelligente Konstruktion für ein einfaches Substrat-Handling

  • Der bewegliche untere Kammerabschnitt sorgt für einen guten Zugang und ermöglicht ein einfaches Handling des Spiegels.
  • Die Spiegel können einfach mit einem Kran in die freistehende Kammer ge- und entladen werden.