Die NESSY Serie beschichtet Extrem-Ultraviolett-Spiegel (EUV) im Ultrahochvakuum und eignet sich ideal für F&E und Massenfertigung in wissenschaftlichen Einsatzbereichen wie z. B. EUV-Lithografie, Röntgenstrahlmessgeräten und Synchrotron-Strahlenoptik.
Das durchdachte Maschinendesign und die Präzisionsfertigung sorgen für den ultrahohen Vakuumdruck, der für eine einwandfreie Stöchiometrie-Schichtqualität benötigt wird.
Sputterquelle und Bedampfungsprozess sind äusserst stabil, und die mechanische Konstruktion der NESSY Serie basiert auf minimierten Toleranzen. Damit schliesst die NESSY die Lücke zur Gleichmässigkeit im subatomaren Wertebereich, wie sie im EUV-Einsatzbereichen und für andere anspruchsvolle Optikanwendungen erforderlich ist.
Der Substrathalter ist mit einem doppelten umlaufenden Rotationssystem ausgerüstet, um die Substratbewegung für höchste Gleichmässigkeit steuern zu können. Die direkte Hochgeschwindigkeitsrotation des Substrats erfolgt bei langsamer Drehung in der Kammer mit programmierbaren Geschwindigkeitsprofilen. So kann die NESSY ein breites Spektrum an Substratgeometrien beschichten.
Milliarden Menschen kommen täglich mit Technologien von Bühler in Kontakt, um ihre Grundbedürfnisse an Lebensmitteln und Mobilität zu erfüllen. Unser Motto lautet: Innovations for a better world. Erfahren Sie mehr über unsere wesentlichen Themen.
Mehr Sicherheit und Erfahrung – dank Bühler Serviceleistungen und Schulungen sind Sie bei Produkten und Technologien immer auf dem neuesten Stand.
Gupfenstrasse 5
Uzwil
9240
Schweiz
