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Ionenstrahlbearbeitungsmaschine

LEYBOLD OPTICS IBF series

Die Ionenstrahlbearbeitung (IBF) ermöglicht vakuumbasiert mit beschleunigten Argonatomen hoch präzises Korrekturpolieren der Spitzenklasse, um selbst kleinste Fehler auf wenige Nanometer genau mit lokaler Auflösung im Submillimeterbereich zu beseitigen.

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Hauptvorteile

Poliert praktisch jede Form
Der 6-achsige Direktantrieb gewährleistet, dass die Ionenquelle stets rechtwinklig (orthogonal) auf die Oberfläche des Werkstücks trifft. Die IBF erlaubt zudem die Bearbeitung bis an den Rand der Oberfläche und darüber hinaus.
Oberflächenqualitäten von mindestens λ/200
Die IBF beseitigt hoch präzise selbst kleinste Fehler auf optischen Oberflächen und ist damit der ideale Endbearbeitungsschritt.
Vollautomatisch und umfassend reproduzierbar
Der vollautomatische, iterativ ablaufende Prozess lässt sich mit verschiedenen Ionenstrahlblenden kombinieren, ohne dass das Werkstück zwischen den Prozessen gemessen werden muss. So ist für planbare Bearbeitungs- und Durchlaufzeiten gesorgt.

Besondere Merkmale

Moderne Software

Schnell eingerichtet und benutzerfreundlich

Die benutzerfreundliche Software analysiert und visualisiert Messdaten aus verschiedenen Quellen und simuliert davon ausgehend den Bearbeitungsvorgang. Die vollautomatische Maschine muss nicht durch Personal überwacht werden. Die grafische Benutzeroberfläche lässt sich anwendungsspezifisch anpassen.

ISERM

In-situ-Ätzratenmessung

Mithilfe einer Niedrigkohärenztechnologie ermittelt das IBF-Messsystem hoch präzise das Ätzratenprofil der Ionenquelle. Das System ist mit einem austauschbaren Probenhalter ausgestattet, der ein breites Spektrum an Materialien aufnehmen kann. Mit nur einem Messkopf lassen sich mehrere Messungen durchführen.

Blendenwechsler

Bis zu fünf Blenden

Sie können die Öffnung der Ionenstrahlquelle für einen Messbereich von 0.5 mm bis 20 mm Durchmesser bei laufendem Betrieb (in der Vakuumkammer) mit bis zu fünf Blenden ändern.

Schwerpunktthemen

Milliarden Menschen kommen täglich mit Technologien von Bühler in Kontakt, um ihre Grundbedürfnisse an Lebensmitteln und Mobilität zu erfüllen. Unser Motto lautet: Innovations for a better world. Erfahren Sie mehr über unsere wesentlichen Themen.

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