Die DEIMOS ist eine hochmoderne Sputter-Beschichtungsanlage, die ultrapräzise, gleichmässige und haltbare Schutz- und Verstärkungsschichten in Aluminium und Silber mit maximalem Reflexionsgrad für Ihre astronomischen Spiegel liefert.
Da der Abstand zwischen Target und Substraten über die Gleichmässigkeit der Beschichtung entscheidet, lässt sich jedes Target einzeln verstellen und neigen und so präzise an das gekrümmte Substrat anpassen. Elektroantriebe sorgen für einen ruhigen und zuverlässigen Lauf. Die Einstellungen lassen sich als Fertigungsrezept speichern, damit sich die Qualität konstant reproduzieren lässt.
MF- oder DC-Glimmeinheiten in der Prozesskammer sorgen dafür, dass diese vor dem Start des Sputtervorgangs absolut rein und frei von Feuchtigkeit ist – eine entscheidende Voraussetzung für hochwertige Beschichtungen. Der Reinigungsvorgang lässt sich im Fertigungsrezept speichern.
Angesichts von Substratdurchmessern bis 4.5 m gestaltet sich der Zugang zu Substrat, Targets und sonstigen Prozesselementen in der Kammer bei manchen Technologien oft schwierig. Deshalb läuft bei der DEIMOS 5500 die untere Hälfte der Kammer auf Schienen, sodass die Elemente während Betrieb und Wartung leicht zugänglich sind.
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