Die Sputter-Beschichtungsanlagen von Bühler Leybold Optics sind mit den modernsten Feinoptik-Technologien ausgerüstet, um die Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Sie sorgen, unterstützt von erfahrenen Ingenieuren, in zahlreichen Anwendungsbereichen für Leistungs- und Produktivitätssteigerungen.
Unsere Systeme sind zur Herstellung von partikelarmen Filtern konzipiert und erfüllen damit die Anforderungen der Halbleiterindustrie.
Wir bieten Lösungen für das Waferhandling – vom klassischen Beladen von Wafern bis zum vollautomatischen Handling direkt aus SMIF/FOUP-Behältern.
Unsere Maschinen sind mit den Backend-Prozessen der CMOS-Herstellung oder Fotolithografie kompatibel.
Farb- und NIR-Bandpassfilter sowie Kantenfilter erlauben die Anwendung in Umgebungslicht- und CMOS-Bildsensoren. Auf die Punktprojektor-Wellenlänge abgestimmte Schmalbandpassfilter ermöglichen die Anwendung in der Gesichtserkennung.
Von Antireflex- und Hochreflexbeschichtungen bis zu komplexen Filterentwürfen direkt auf Wafern.
Vermehrt werden kleinere Sensoren in Wearables verbaut, sodass auch Hochpräzisionsbeschichtungen und Wellenleiter direkt auf kleinere Elemente aufgebracht werden.
NIR-Bandpassfilter und AR-Beschichtungen für Sensoren verhindern, dass Umgebungslicht und Fremdlicht die Messsysteme stören.
Mehrfarbige Bandpassfilter, um digitalen Bildern Informationen zu chemischen Zusammensetzungen oder Oberflächenstrukturen hinzuzufügen.
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