Header product
Beschichtungsanlage für Feinoptik

NESSY Serie

Die NESSY Serie beschichtet Extrem-Ultraviolett-Spiegel (EUV) im Ultrahochvakuum und eignet sich ideal für F&E und Massenfertigung in wissenschaftlichen Einsatzbereichen wie z. B. EUV-Lithografie, Röntgenstrahlmessgeräten und Synchrotron-Strahlenoptik.

Header product

Hauptvorteile

Modernste Technologie

Mit der NESSY gefertigte hochmoderne Mehrschicht-Interferenzspiegel setzen Massstäbe in wissenschaftlichen Bereichen wie EUV-Lithografie (max. Reflexionsgrad für Mehrschichtspiegel bei 13.5 nm), Röntgenstrahlmessung und Synchrotron-Strahlenoptik.

Für unterschiedlichste Materialien geeignet

Die NESSY Beschichtungsanlage kann mit bis zu sechs verschiedenen rechteckigen Kathoden arbeiten und verwendet Stoffe wie Molybdän und Silicium, die Sie für ein vollständiges Schichtsystem in einem Zyklus benötigen.

Hervorragende, fehlerfreie Beschichtungen

Die Beschichtungsanlagen der NESSY Serie erzielen bei Schichtstärken von 7 nm unübertroffene subatomare Gleichmässigkeitswerte, wie sie in der EUV-Optik für die Fotolithografie der Zukunft erforderlich sind.

Besondere Merkmale

UHV-Druck < 9*10-9 mbar

Hervorragende Schichtqualität durch Ultrahochvakuum

Das durchdachte Maschinendesign und die Präzisionsfertigung sorgen für den ultrahohen Vakuumdruck, der für eine einwandfreie Stöchiometrie-Schichtqualität benötigt wird.

Statistische Schichtgleichmässigkeit im subatomaren Bereich

Einzigartige Schichtstärke, Präzision und Gleichmässigkeit

Sputterquelle und Bedampfungsprozess sind äusserst stabil, und die mechanische Konstruktion der Nessy Serie basiert auf minimierten Toleranzen. Damit schliesst die Nessy die Lücke zur Gleichmässigkeit im subatomaren Wertebereich, wie sie im EUV-Einsatzbereichen und für andere anspruchsvolle Optikanwendungen erforderlich ist.

Einstellbarer Sputter-Abstand

Auf anspruchsvollste Produktanforderungen ausgelegt

Der Substrathalter ist mit einem doppelten umlaufenden Rotationssystem ausgerüstet, um die Substratbewegung für höchste Gleichmässigkeit steuern zu können. Die direkte Hochgeschwindigkeitsrotation des Substrats erfolgt bei langsamer Drehung in der Kammer mit programmierbaren Geschwindigkeitsprofilen. So kann die Nessy ein breites Spektrum an Substratgeometrien beschichten.

Schwerpunktthemen

Milliarden Menschen kommen täglich mit Technologien von Bühler in Kontakt, um ihre Grundbedürfnisse an Lebensmitteln und Mobilität zu erfüllen. Unser Motto lautet: Innovations for a better world. Erfahren Sie mehr über unsere wesentlichen Themen.

No Results Found

Verwandte Produkte

No Results Found
Content Block

Wie können wir helfen?


Gupfenstrasse 5
Uzwil
9240
Schweiz