精密光学真空镀膜
STARpro
STARpro反应式单一磁控溅射系统通过SI3N4和SIO2复合膜层的制备，在不同领域有着广泛的应用。此系统结构紧凑、易于安装，特别适合小批量滤光片的生产、样品快速制作和研发。
主要优点
适用于小批量生产的多用途镀膜系统
凭借其设计紧凑、抽真空速度快以及仅需四个工件架的装载能力，STARpro 服务于小批量样品的快速制作和研发。
准确度高，重复性高
与集成 OMS 5100 直接光学监控系统相结合，整个设备经过精心设计，可在整个靶材使用寿命期内实现高准确度和高可重复性。
极易安装和操作
小工艺气瓶设置在机架内使用，设备只需连接电源和压缩空气即可启动生产。触摸屏界面操作简单。
突出特点
单独的进片腔室
高工艺稳定性，低颗粒污染
单独的装载锁定腔室确保持工艺腔室处于真空状态，避免粉尘颗粒和水汽的干扰。在工件架装载完毕后，腔室立即抽真空，装载腔和工艺腔体之间的阀门仅在压差很小或无压差情况下打开启，从而保证工艺腔内的粉尘颗粒极少。
可调节溅射距离
靶材可多次重复利用
在镀膜区，靶材与工件架之间的距离通过特殊设计电驱动系统精确调节。随着刻蚀剖面在靶材使用寿命期内加深，可通过距离缩短来保持镀膜均匀性。从而在整个靶材使用寿命期间内，产品质量的温定。
行星系统
通过工件架旋转实现高均匀性
STARpro开启溅射时，工件架在行星系统中旋转，从而提高镀膜均匀性，获得高品质膜层。
关键主题
每天，数以亿计的人们都在享用布勒技术，以满足自己在食品、交通出行以及更多领域的日常所需。我们的座右铭是“布勒创新，驱动未来”。了解有关我们关键主题的更多信息。
No Results Found
服务和培训
布勒的服务和培训旨在使您及时了解新产品和技术，助您提升信心和积累经验。
相关产品
No Results Found
请问您需要哪些帮助?
无锡市新吴区薛典北路71号
中国江苏省
214142
(+86) 510 8528 2888
