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Die Leybold Optics LTE Serie ist die ideale Lösung für die Long-Throw-Verdampfung zur Gestaltung von Strukturen im Nanometerbereich, die mit dem Lift-off-Verfahren kombiniert werden kann und speziell für Halbleiteranwendungen und den Einsatz im Bereich F&E entwickelt wurde.
Die Leybold Optics LTE Serie bringt ganz besondere Vorteile mit sich, in denen sich 150 Jahre an Expertise eines im Bereich Dünnschichttechnologie führenden, global tätigen Unternehmens widerspiegeln.
Die Leybold Optics LTE Serie bringt ganz besondere Vorteile mit sich, in denen sich 150 Jahre an Expertise eines im Bereich Dünnschichttechnologie führenden, global tätigen Unternehmens widerspiegeln.
Überzeugen Sie sich von unserem einmaligen System für modernste Verdampfungstechnologie, das zwischen Quelle und Dom einen Abstand von 1.3 Metern vorsieht und somit eine Long-Throw-Verdampfung möglich macht. Unser einstellbarer Dom eignet sich für bis zu 6 Substrate mit einem Durchmesser von 150 mm, wobei auf Wunsch auch 200 mm möglich sind, und bietet so eine Vielseitigkeit, mit der sich Ihre Anforderungen an hochpräzise Fertigung auf optimal zuverlässige Weise erfüllen lassen.
Durch den kombinierten Einsatz von Elektronenstrahlerzeuger und Plasmaquelle ermöglicht unsere innovative Verfahrenslösung für plasmaunterstützte Beschichtung (PIAD-Verfahren) bessere Qualität und Haftung bei Dünnschichten. Dank dieser Kombination lässt sich die Dicke präzise kontrollieren, und man hat mehr Möglichkeiten hinsichtlich der Materialien.
Das von uns entwickelte Abscheidungssystem verfügt über einen hochmodernen Dom, mit dem nahezu senkrechte Abscheidungswinkel und damit richtungsgebundene Beschichtungen von höchster Präzision möglich sind. Dieser innovative Ansatz bietet unvergleichliche Gleichmässigkeit und Qualität bei Dünnschichtanwendungen und setzt neue branchenweite Standards in Sachen Genauigkeit und Leistung.
Mehr Sicherheit und Erfahrung – mit unseren Schulungen und Serviceleistungen sind Sie bei unseren Produkten und Technologien auf dem neuesten Stand.
Sales Manager Halbleiter
daniel.sa_pereira@buhlergroup.com
+49 6023 500 0
Siemensstrasse 88
Alzenau, Deutschland
63755