Die HELIOS Sputterbeschichtungsanlage von Bühler ist auf das Vakuumbeschichten von Laserlinien-, Steilkanten- und Kerbfiltern, Laserspiegeln und gechirpten Spiegeln, Polarisatoren, Strahlteilern, Bio- und ADAS-Sensoren und Unterhaltungselektronik ausgelegt.
Die hochmoderne PARMS-Technologie (plasmagestütztes reaktives Magnetronsputtern) ermöglicht das Aufdampfen von dielektrischen Beschichtungen auf Metalltargets mit hohen und niedrigen Brechungsindizes durch Kombination von Mittelfrequenz-(MF-) und Hochfrequenz-(RF-)Sputtertechnologien über zwei Magnetrons. So ist für hohe Produktivität, Spitzenqualität und höchste Präzision auf atomarer Ebene gesorgt.
Unser renommiertes optisches In-situ-Schichtdickenmesssystem LEYBOLD OPTICS OMS 5100 sorgt dafür, dass jede einzelne Schicht präzise aufgebracht wird. Bei grösseren Schichtsystemen und Verwendung des automatischen Beladesystems können Testgläser ohne Störung des Vakuums ausgewechselt werden. So können HELIOS Werkzeuge lange Zeit unbeaufsichtigt laufen, ohne dass die Produktqualität leidet.
Optische Entwürfe lassen sich im LMR- und LPR-Dateiformat an das Fertigungstool übermitteln. Die Beschichtungsanlagen eignen sich ideal für die Fertigung eines breiten Spektrums an Filterdesigns. So beschleunigen Sie das Prototyping für neue Produkte und damit die Markteinführungszeit.
Co-Sputtern
Beim Co-Sputtern lässt sich jeder beliebige Brechungsindex erzeugen, der sich theoretisch mit Sputtermaterialien mit hohem und niedrigem Index erzielen lässt. Dadurch sind die Tools flexibler und ermöglichen schnelles Prototyping und einen höheren täglichen Durchsatz in der Fertigung.
Individuell anpassbar
Ihre Helios Vakuumbeschichtungsanlage lässt sich an Ihre Anforderungen an Produkt, Prozess und Produktion anpassen.
Farb- und NIR-Bandpassfilter sowie Kantenfilter erlauben die Anwendung in Umgebungslicht- oder CMOS-Bildsensoren. Auf die Punktprojektor-Wellenlänge abgestimmte Schmalbandpassfilter ermöglichen die Anwendung in der Gesichtserkennung.
Von Antireflex- und Hochreflexbeschichtungen bis zu komplexen Filterentwürfen direkt auf Wafern.
Vermehrt werden kleinere Sensoren in Wearables verbaut, sodass auch Hochpräzisionsbeschichtungen und Wellenleiter direkt auf kleinere Elemente aufgebracht werden.
NIR-Bandpassfilter und AR-Beschichtungen für Sensoren verhindern, dass Umgebungslicht und Fremdlicht die Messsysteme stören.
Mehrfarbige Bandpassfilter, um digitalen Bildern Informationen zu chemischen Zusammensetzungen oder Oberflächenstrukturen hinzuzufügen.
Kantenfilter wie Kurz- oder Langpassfilter helfen bei der Auswahl des Spektralbereichs von Fotospektrometern für besonders präzise Messungen und Kalibrierungszwecke. Bandpassfilter erhöhen die Selektivität von Sensoranwendungen und grenzen den Wellenlängenbereich einer breitbandigen Lichtquelle ein.
UV-IR-Sperrfilter schützen die empfindliche Optik im Inneren eines Kameraobjektivs und verbessern den Kontrast im sichtbaren Wellenlängenbereich, indem sie das energiereiche UV-Licht und die IR-Lichtverschmutzung auslöschen. Sonnen- und Mondlichtfilter verbessern den Kontrast bei Beobachtungen mit astronomischen Teleskopen.
Dielektrische Spiegel, Polarisatoren und Strahlteiler werden in Interferometern oder optischen Bänken verwendet, um den Weg eines Lichtstrahls für die präzise Messung der optischen Eigenschaften einer Probe zu manipulieren. Spiegeloptiken und halbtransparente Spiegel machen geometrische Messgeräte so klein, dass sie leicht zu handhaben sind.
Multi-Notch-Filter verbessern die Qualität der durch Fluoreszenzmikroskopie erzeugten mikroskopischen Bilder, ermöglichen die Quantifizierung von Zellbestandteilen und schützen das menschliche Auge vor schädlichem UV-Licht. Multi-Bandpassfilter und Linienfilter helfen bei der schnellen Quantifizierung von Expressionsmarkern in der medizinischen Analysetechnik, einschliesslich der bekannten RT-PCR-Methode.
Extrem schmale Bandpässe ermöglichen das Multiplexen und Demultiplexen von Telekommunikationssignalen für die komplexe Informationsübertragung in grossen Netzen über Glasfasern.
Mehr Sicherheit und Erfahrung – mit den Bühler Serviceleistungen und Schulungen sind Sie bei Produkten und Technologien immer auf dem neuesten Stand.
leyboldoptics.beijing@buhlergroup.com
+86 10 5379 3366
Build 5, No.2
Yongchang South Rd.
BDA, Peking 100176, China
