LEYBOLD OPTICS IBT series

Die IBT 800 baut auf der Ionenstrahlbearbeitungskompetenz von Bühler auf und lässt sich mit den Ionenquellen RF80 mit 80 mm oder RF40 mit 40 mm ausrüsten, die eine Abtragleistung von bis zu 0,6 bzw. 0,15 mm3/cm ermöglichen. Dies lässt sich mit der ISERM verbinden, die die Ätzrate eines Ionenstrahls innerhalb weniger Sekunden ohne Störung des Vakuums bestimmen kann.

Wenn Werkstücke in Kassetten auf Rollenförderern bewegt werden, kann die IBT 800 Chargen mit mehreren Wafern verarbeiten und so den Gesamtzeitaufwand optimieren und die Betriebskosten reduzieren. Lieferbar sind Substrathalter für 2x12’’, 3x8’’, 4x6’’ oder 8x4’’ Wafer. Andere auf Anfrage.

Diese grossvolumige Lösung ist ein reinraumkompatibles (ISO5) Robotersystem, das Substrathalter und Kassetten automatisch be- und entladen kann und so die Interaktion zwischen Bediener und Wafer reduziert.

Durch die Integration des optischen Dünnschichtdickenmessgeräts lässt sich die Schichtdicke dielektrischer Dünnschichten bestimmen, indem Prozess und Metrologie in einem einzelnen System kombiniert werden. Halbtransparente Schichten und Halbleiter können mit einem Spektrometer bei λ 200-1100 nm und einem Dickenbereich von 50 nm – 50 µm gemessen werden.

Zwei vertikale Schlitze mit motorisiertem Lift für Substrathalterkassetten reduzieren die Betriebszeit durch parallele Bearbeitung.