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Beschichtungsanlage für Feinoptik

SYRUSpro series

Die SyrusPro Serie bietet unübertroffene Leistung und Produktivität für die 24/7-Massenfertigung optischer Filter. Von „Deep Ultraviolet (DUV)“ über das sichtbare Spektrum (VIS) bis hin zum Infrarotbereich (IR) – diese Lösung setzt neue Massstäbe.

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Hauptvorteile

Hohe Flexibilität

Sie können aus acht Kammergrössen wählen, die perfekt auf Ihre Ladekapazität und Substratgrösse abgestimmt sind.

Entwickelt für anspruchsvolle Applikationen

Die SyrusPro wurde für anspruchsvolle Anforderungen für IR, DUV und selbst extreme Wellenlängenbereiche entwickelt.

Auf Ihren Prozess abgestimmt

Dank des breiten Spektrums an hochwertigen Hauptelementen lässt sich die SyrusPro genau an Ihre Prozessanforderungen anpassen.

Besondere Merkmale

Optionen verschiedener Kammern

Auf Ihre Prozessanforderungen abgestimmt

Die Beschichtungsanlagen der SyrusPro Serie sind in acht verschiedenen Kammergrössen mit Innendurchmessern zwischen 710 mm und 2800 mm erhältlich. So können Sie genau die Kammergrösse wählen, die zu Ihren Ladekapazitäten und Substratgrössen passt.

Auswahl verschiedener Beschichtungen

Genau auf Ihre Beschichtungsanforderungen abgestimmt

Die SyrusPro Serie deckt eine Vielzahl an Beschichtungen ab, z. B. für Kantenfilter (Kurz-/Langpass), UV-/IR-Sperrfilter, Notchfilter und schmale Bandpassfilter, dichroitische Farbfilter und Polarisationsstrahlteiler sowie AR- und HR-Beschichtungen für Laser.

Auswahl verschiedener Hauptelemente

Auf Ihr Produkt abgestimmt

Dank des breiten Spektrums an eigens entwickelten Bauelementen können wir das System genau auf Ihre Produktanforderungen zuschneiden. Wir helfen Ihnen dabei, für Ihre Erfordernisse die passende Auswahl aus optischen In-Situ-Messsystemen, Plasmaquellen und einem grossen Angebot an Elektronenstrahlverdampfern, thermischen Verdampfern, Quarzmesssystemen und Substrathaltern zu treffen.

Unsere erstklassige Prozesssteuerung vereint hohe Flexibilität bei der Programmierung mit einem Höchstmass an Automatisierung, damit Sie die Effizienz Ihrer 24/7 laufenden Produktionszyklen steigern können.

Die optimierten Systemlösungen für die Fotolithografie bei 193 nm umfassen behandelte Kammeroberflächen, ausgewählte Materialien und individualisierte Komponentenkonfigurationen, um extrem niedrige Beschichtungsverluste zu gewährleisten. So ist auch für versetzungsfreie, stabile Spiegelbeschichtungen mit hohen Reflexionswerten gesorgt, die Ihre DUV-Anwendungen erfordern.

Um die besonderen Anforderungen von Infrarotanwendungen zu erfüllen, kann die Maschine perfekt an die grosse Vielfalt der IR-Beschichtungsmaterialien angepasst werden. Flache und stark gekrümmte Substrate, die eine hohe Gleichmässigkeit erfordern, können bei ausgezeichneter Qualität über die gesamte Fläche und Krümmung beschichtet werden.

Das erfahrene Bühler Leybold Optics Team unterstützt Sie dabei, Ihre hochwertige, effiziente und zuverlässige Beschichtungsanlage passgenau für Ihren Einsatzbereich zu konfigurieren.

Schwerpunktthemen

Milliarden Menschen kommen täglich mit Technologien von Bühler in Kontakt, um ihre Grundbedürfnisse an Lebensmitteln und Mobilität zu erfüllen. Unser Motto lautet: Innovations for a better world. Erfahren Sie mehr über unsere wesentlichen Themen.

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