Header product
Beschichtungsanlage für Feinoptik

STARpro

Die reaktive Einfachmagnetron-Sputterbeschichtungsanlage STARpro deckt mit Si3N4- und SiO2-Schichtsystemen ein breites Anwendungsspektrum ab. Sie ist kompakt, einfach zu installieren und eignet sich ideal für die Fertigung optischer Filter in kleinen Chargen, schnelles Prototyping und F&E Anwendungen.

Header product

Hauptvorteile

Vielseitiges Beschichtungssystem für die Fertigung kleiner Chargen

Die STARpro ist mit ihrem kompakten Design, der kurzen Abpumpzeit bis Prozessdruck und einer Kapazität von nur vier Substraten auf kleine Chargengrössen, schnelles Prototyping und F&E-Tätigkeiten ausgelegt.

Punktgenaue und zuverlässige Reproduzierbarkeit

In Kombination mit dem integrierten optischen In-situ-Schichtdickenmesssystem OMS 5100 wurde die gesamte Maschine so konzipiert, dass sie punktgenaue und zuverlässige Reproduzierbarkeit über die gesamte Target-Lebensdauer bietet.

Extrem einfache Installation und Bedienung

Dank der kleinen Prozessgasflaschen im Maschinengestell müssen Sie die Maschine nur an Strom und Druckluft anschliessen, um die Fertigung zu starten. Ebenso einfach ist die Bedienung über den Touchscreen.

Besondere Merkmale

Separate Schleusenkammer

Hohe Prozessstabilität und geringe Partikelkontamination

Die separate Schleusenkammer erhält das Vakuum in der Prozesskammer aufrecht und verhindert, das Partikel oder Feuchtigkeit eindringen. Die Schleusenkammer wird nach dem Laden der Substrate evakuiert, und der Schieber zwischen der Lade- und der Prozessstation wird nur bei keinem oder geringem Differenzdruck geöffnet. So wird die Partikelbelastung im Verarbeitungsbereich auf ein Minimum gesenkt.

Einstellbarer Sputter-Abstand

Hohe Reproduzierbarkeit über die gesamte Target-Lebensdauer

Der Beschichtungsbereich ist so konstruiert, dass sich die Abstände zwischen Target und Substraten über einen Elektroantrieb genau einstellen lassen. Da das Abtragungsprofil mit der Zeit immer tiefer wird, können Sie die Gleichförmigkeit der Beschichtung durch eine Verkürzung des Abstands aufrechterhalten und erzielen so eine hohe Produktqualität über die gesamte Target-Lebensdauer hinweg.

Planetensystem

Hohe Gleichmässigkeit durch Substratrotation

Die StarPro Anlage erhöht die Gleichmässigkeit der Beschichtungen, indem das Substrat während der Verarbeitung unter der Quelle in einem Umlaufsystem rotiert. So ist stets für höchste Beschichtungsqualität gesorgt.

Schwerpunktthemen

Milliarden Menschen kommen täglich mit Technologien von Bühler in Kontakt, um ihre Grundbedürfnisse an Lebensmitteln und Mobilität zu erfüllen. Unser Motto lautet: Innovations for a better world. Erfahren Sie mehr über unsere wesentlichen Themen.

No Results Found

Verwandte Produkte

No Results Found
Content Block

Wie können wir helfen?


Gupfenstrasse 5
Uzwil
9240
Schweiz