Die Ionenstrahlbearbeitung (IBF) ermöglicht vakuumbasiert mit beschleunigten Argonatomen hoch präzises Korrekturpolieren der Spitzenklasse, um selbst kleinste Fehler auf wenige Nanometer genau mit lokaler Auflösung im Submillimeterbereich zu beseitigen.
Der 6-achsige Direktantrieb gewährleistet, dass die Ionenquelle stets rechtwinklig (orthogonal) auf die Oberfläche des Werkstücks trifft. Die IBF erlaubt zudem die Bearbeitung bis an den Rand der Oberfläche und darüber hinaus.
Die IBF beseitigt hoch präzise selbst kleinste Fehler auf optischen Oberflächen und ist damit der ideale Endbearbeitungsschritt.
Der vollautomatische, iterativ ablaufende Prozess lässt sich mit verschiedenen Ionenstrahlblenden kombinieren, ohne dass das Werkstück zwischen den Prozessen gemessen werden muss. So ist für planbare Bearbeitungs- und Durchlaufzeiten gesorgt.
Die benutzerfreundliche Software analysiert und visualisiert Messdaten aus verschiedenen Quellen und simuliert davon ausgehend den Bearbeitungsvorgang. Die vollautomatische Maschine muss nicht durch Personal überwacht werden. Die grafische Benutzeroberfläche lässt sich anwendungsspezifisch anpassen.
Mithilfe einer Niedrigkohärenztechnologie ermittelt das IBF-Messsystem hoch präzise das Ätzratenprofil der Ionenquelle. Das System ist mit einem austauschbaren Probenhalter ausgestattet, der ein breites Spektrum an Materialien aufnehmen kann. Mit nur einem Messkopf lassen sich mehrere Messungen durchführen.
Sie können die Öffnung der Ionenstrahlquelle für einen Messbereich von 0.5 mm bis 20 mm Durchmesser bei laufendem Betrieb (in der Vakuumkammer) mit bis zu fünf Blenden ändern.
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