Header product
Sputteranlage für hochpräzise Schichten

HELIOS series

Der HELIOS Sputterbeschichter von Bühler ist auf das Vakuumbeschichten von Laserlinien-, Steilkanten- und Kerbfiltern, Laserspiegeln und gechirpten Spiegeln, Polarisatoren, Strahlteilern, Bio- und ADAS-Sensoren und Unterhaltungselektronik ausgelegt.

Header product

Hauptvorteile

Innovative PARMS-Technologie

Die HELIOS Beschichtungsanlagen nutzen die PARMS-Prozesstechnologie, das plasmaunterstützte reaktive Magnetronsputtern. Diese steuert präzise sehr dünne Schichten im atomaren Massstab und ist auf hochwertige Produkte und hohe Erträge ausgelegt.

Massstab für optische In-situ-Schichtdickenmessung auf dem Substrat

Die HELIOS ist für eine hervorragende Prozess- und Produktionsstabilität ausgelegt. So kann diese auch ultradünne Schichten mit perfekter Präzision beschichten.

Neue Leistungsstandards setzen

Die HELIOS setzt neue Massstäbe für Filter mit über 200 Schichten bzw. 20 µm Dicke. Er sorgt für die richtige Schichtoxidation, hohe Schichtdichten und geringe Schichtverluste und so für hohe Laserzerstörschwellen, wenig Streuung und hohe Reflexion.

Besondere Merkmale

PARMS-Technologie

Extrem präzise Beschichtungen

PARMS steht für plasmaunterstütztes reaktives Magnetronsputtern, das dielektrische Beschichtungen von Metalltargets mit hohen und niedrigen Brechungsindizes aufdampft. Dabei werden über zwei Magnetrone Mittel- und Hochfrequenzsputtertechnologien kombiniert. So ist für hohe Produktivität, Spitzenqualität und Präzision auf Atomebene gesorgt.

Optische Schichtdickenmessung direkt auf dem Substrat

Hohe Reproduzierbarkeit und Sicherung der Produktion

Unser optisches In-situ-Schichtdickenmesssystem Leybold Optics OMS 5100 sorgt dafür, dass jede einzelne Schicht präzise aufgebracht wird. Für grössere Schichtsysteme ist ein automatisches Beladesystem verfügbar, damit Sie Testgläser ohne Störung des Vakuums auswechseln können. So kann das Helios System lange Zeit unbeaufsichtigt laufen, ohne dass die Produktqualität leidet.

Optische Entwürfe lassen sich im LMR- und LPR-Dateiformat an das Fertigungstool übermitteln. Die Beschichtungsanlagen eignen sich ideal für die Fertigung eines breiten Spektrums an Filterdesigns. So beschleunigen Sie das Prototyping für neue Produkte und damit die Markteinführungszeit.

Beim Co-Sputtern lässt sich jeder beliebige Brechungsindex erzeugen, der sich theoretisch mit Sputtermaterialien mit hohem und niedrigem Index erzielen lässt. Dadurch sind die Tools flexibler und ermöglichen schnelles Prototyping und einen höheren täglichen Durchsatz in der Fertigung.

Ihre HELIOS Vakuumbeschichtungsanlage lässt sich an Ihre Anforderungen an Produkt, Prozess und Produktion anpassen.

Schwerpunktthemen

Milliarden Menschen kommen täglich mit Technologien von Bühler in Kontakt, um ihre Grundbedürfnisse an Lebensmitteln und Mobilität zu erfüllen. Unser Motto lautet: Innovations for a better world. Erfahren Sie mehr über unsere wesentlichen Themen.

No Results Found

Verwandte Produkte

No Results Found
Content Block

Wie können wir helfen?


Gupfenstrasse 5
Uzwil
9240
Schweiz