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Beschichtungsanlage für flexible Elektronik

LEYBOLD OPTICS FLC Serie

Die LEYBOLD OPTICS FLC bringt hochwertige R2R-Sputterbeschichtungen auf. Mit bis zu sechs schnell drehenden Kathoden und der flexiblen Maschinenkonfiguration eignet sie sich für F&E- ebenso wie für Fertigungsumgebungen.

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Hauptvorteile

Schichtsysteme in nur einem Durchlauf

Die optionale Gasseparation zwischen benachbarten Abschnitten erlaubt es, verschiedene metallische und dielektrische Schichtsysteme herzustellen. Einfache Schichtsysteme lassen sich mit hohem Durchsatz fertigen und komplexe Systeme in nur einem Durchlauf.

Eine Maschine vielseitige Anwendungen

Bis zu sechs Rohrkathoden, verschiedene Stromversorgungsoptionen, In-situ-Messsysteme, Plasmavorbehandlung, geschlossene Prozesssteuerung und Wickeleinheit lassen sich flexibel und äusserst genau an Substrattyp und Anwendung anpassen.

Unkomplizierter Wechsel zwischen Schichtsystemen und Applikationen

Mit den passenden Stromversorgungen wechseln Sie zwischen Schichtsystemen für verschiedene Applikationen ganz einfach durch den Wechsel von Targetmaterialien und Prozessrezepten, ohne die Anlage selbst wesentlich zu ändern – ideal für F&E.

Besondere Merkmale

Vielseitigkeit

Bis zu sechs Rohrkathoden

Bis zu sechs Rohrkathoden mit DC-, ein- oder zweipoliger DC-Impuls- oder MF-Stromversorgung lassen sich vielseitig in reaktiven und nicht reaktiven Prozessen einsetzen.

Hohe Produktqualität

Höhere Produktqualität dank intelligenter Systeme

Eine geringe Partikelbildung (Sputter-up-Ausrichtung der Kathoden), die optionale Plasmavorbehandlung, die temperaturgeregelte Beschichtungstrommel (Standard: –15 bis +80 °C), Turbomolekularpumpen und Kühlfallen sowie eine Vielfalt an In-situ-Schichtmesssystemen sorgen für eine gleichbleibend hochwertige Beschichtungsqualität.

Einfache Wartung

Robuste Konstruktion

Die intelligente und robuste Leybold Optics FLC erfüllt die Anforderungen Ihrer Rund-um-die-Uhr-Fertigung. Die einfach zugänglichen Hauptelemente sind für eine gleichbleibend hohe Endproduktqualität schnell gewartet und einfach zu reinigen.

Die LEYBOLD OPTICS FLC lässt sich mit wenig Anpassungsaufwand mit einem breiten Spektrum an Substrattypen wie z. B. PET, PEN, PI, Al, SST, Kupfer oder flexiblem Glas verwenden. Sie kann Substratrollendurchmesser bis 500 mm bis zu einer Breite von 650 mm beschichten. Typische Beschichtungsstoffe sind Metalle (Ag, Al, Cu, Cr, NiCr, Ti) und Dielektrika (AZO, ITO, SiO2, SiN, SnO2, Nb2O5, TiO2).

Die leistungsfähige magnetronbasierte Plasmavorbehandlung sorgt für Reinigung, Ablation, Vernetzung und Oberflächenanpassung und optimiert so die Verarbeitungsbedingungen, um höchste Schichthaftung und Qualität zu erzielen.

Die LEYBOLD OPTICS FLC macht intelligente Technologien möglich. Sie eignet sich für Einsatzbereiche wie z. B. ITO-Beschichtungen für Smartphones, Tablets und PC-Bildschirme, Fahrzeugverglasungen mit integrierter Low-E-Schicht, elektrochromische Schichten für Architekturanwendungen und Beschichtungen zur Steigerung der Leistung von Lithium-Ionen-Batterien.

DieLEYBOLD OPTICS FLC ist in verschiedenen Grössen für Beschichtungsbreiten von 650 mm, 1600 mm und 2000 mm verfügbar.

Schwerpunktthemen

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