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Beschichtungsanlage für Feinoptik

LEYBOLD OPTICS DLC 600

Wenn es auf verschleissfeste diamantähnliche Kohlenstoffschichten (DLC) für optische und thermische Bildgebungssysteme ankommt, ist die LEYBOLD OPTICS DLC 600 Vakuumbeschichtungsanlage mit plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung die ideale Lösung.

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Hauptvorteile

Breites Spektrum an Substratgrössen und -geometrien

Da die Substrate schwerkraftbasiert (und nicht durch spezielle Vorrichtungen) in der Kammer gehalten werden, kann die LEYBOLD OPTICS DLC 600 praktisch jede Form und Geometrie bis zu einem Durchmesser von 300 mm und einer Höhe von 30 bis 40 mm bearbeiten.

Hohe Produktqualität

Die LEYBOLD OPTICS DLC 600 wurde für IR-Antireflexapplikationen auf Germanium- und Silicium-Substraten (Ge+Si) entwickelt und liefert extrem harte, gleichmässige DLC-Schichten, die exponierte optische Oberflächen schützen und die Infrarottransmission erhöhen.

Verschleissfeste diamantähnliche Kohlenstoffschichten (DLC)

Die LEYBOLD OPTICS DLC 600 kann die extrem harten und umweltbeständigen DLC-Beschichtungen auftragen, die Sie benötigen, um Ihre optischen Geräte vor Beschädigungen zu schützen.

Besondere Merkmale

Design der Prozesskammer

Benchmark für Gleichmässigkeit über die gesamte Beschichtungsfläche

Die einzigartige Konstruktion des Gaseinlasses der Leybold Optics DLC sorgt für eine absolut gleichmässige Verteilung der Prozessgase in der Prozesskammer. So lässt sich das Substrat höchst präzise beschichten – die Voraussetzung für den Einsatz unter schwachen Lichtbedingungen, wie es etwa bei Nachtsichtgeräten, Sensoren zur Abstandsmessung und IR-Wellenlängenanwendungen der Fall ist.

Leybold Optics DLC

Hervorragende Reproduzierbarkeit durch optische In-situ-Schichtdickenmessung

Da für Schichtdicke und Reproduzierbarkeit eine hohe Genauigkeit gefordert wird, muss das Auftragen der optischen DLC-Schichten kontinuierlich überwacht werden. Das eigens entwickelte optische Premium-Schichtdickenmesssystem OMS 5100 gewährleistet, dass die berechneten und entworfenen Schichtsysteme dem tatsächlichen Beschichtungsergebnis auf dem Endprodukt bei höchster Qualität entsprechen.

Schwerpunktthemen

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