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Instalação de revestimento a vácuo para óptica de precisão

SYRUSpro series

A SYRUSpro oferece desempenho e produtividade inigualáveis para a sua produção de filtros ópticos 24 horas por dia, 7 dias por semana. Desde o ultravioleta profundo (DUV) até ao espectro visível (VIS) e gama espectral de infravermelho (IR), esta é a sua melhor solução.

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Principais benefícios

Projetada para aplicações difíceis
A SYRUSpro é projetada para atender às suas especificações mais desafiadoras para regimes de IV, DUV e até comprimentos de onda extremos
Adaptada ao seu processo
Uma vasta gama de componentes essenciais de alta qualidade nos permite configurar a SYRUSpro de acordo com as suas necessidades específicas de processo.
Máxima flexibilidade
Você pode escolher entre oito tamanhos de câmara para atender perfeitamente às suas capacidades de carga e tamanhos de substrato.

Recursos em destaque

Opções de câmara

Correspondendo às necessidades do seu processo

As instalações de revestimento SYRUSpro estão disponíveis em oito tamanhos de câmara diferentes com diâmetros internos entre 710 mm e 2800 mm. Isso lhe permite escolher uma câmara para atender perfeitamente às suas capacidades de carga e tamanhos de substrato definidos pelo seu processo.

Opções de revestimento

Atendimento às suas especificações de revestimento

A variedade de revestimentos oferecidos pela série SYRUSpro inclui filtros de borda (passagem curta ou longa), filtros de corte UV e IV, filtros notch e filtros passa-banda estreita, filtros dicroicos de cor e divisores de feixe de polarização, revestimentos AR e HR para lasers e muitos mais.

Flexibilidade de componentes essenciais

Adaptação ao seu produto

Uma vasta gama de componentes próprios nos permite adaptar os sistemas aos requisitos do seu produto. Podemos ajudá-lo a escolher entre monitoramento óptico no local, fontes de plasma e uma vasta seleção de evaporadores de feixe de elétrons, evaporadores térmicos, medição de cristais de quartzo e sistemas de suporte de substrato para atender às suas necessidades.

O nosso sistema de controle de processos de ponta une uma elevada flexibilidade de programação com níveis máximos de automação, proporcionando o controle necessário para aumentar a eficiência em ciclos de produção de 24 horas por dia, 7 dias por semana.

As soluções de sistema otimizadas para aplicações de fotolitografia no comprimento de onda de 193 nm incluem superfícies de câmara especialmente tratadas, materiais selecionados e configurações de componentes individualizadas para garantir perdas extremamente baixas para estes revestimentos. Essas medidas também criam revestimentos espelhados estáveis e sem desvios, com os elevados valores de refletividade exigidos nas suas aplicações DUV.

Para satisfazer os requisitos especiais das suas aplicações de infravermelho (IV), a máquina pode ser perfeitamente adaptada para operar com as elevadas quantidades de materiais de revestimento IV. Os substratos planos e fortemente curvados que necessitem de boa uniformidade podem ser revestidos com um excelente desempenho de camada em toda a superfície e curvatura.

A experiente equipe da Bühler Leybold Optics trabalha com você para ajudá-lo a especificar a configuração exata necessária para criar a solução de revestimento a vácuo de maior qualidade, mais eficiente e confiável para a sua aplicação.

Principais tópicos

Todos os dias bilhões de pessoas entram em contato com as tecnologias de processo da Bühler para satisfazer suas necessidades básicas de alimentos e mobilidade. Nosso lema é criar "inovações para um mundo melhor". Saiba mais sobre nossos principais tópicos.

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