Leybold Optics IBS Serie für die Vakuumbeschichtung

LEYBOLD OPTICS IBS – eine kurze Einführung und Verfahren zur Beschichtung von Substraten

Hauptvorteile

Hohe Flexibilität bei Target-Materialien

Durch die Auswahl aus einer breiten Palette von Target-Materialien können Sie bis zu drei verschiedene Materialien gleichzeitig in der Prozesskammer verarbeiten und so auch die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen erfüllen.

Beschichtung gekrümmter und grossflächiger Substrate

Die Leybold Optics IBS Serie erfüllt Ihre Anforderungen an Krümmungen und zunehmend grössere Substratdurchmesser – sie kann Durchmesser bis 600 mm beschichten.

Extrem niedrige Fehlerdichten und Streuwerte

Die Ionenstrahl-Sputtertechnologie der IBS Serie senkt Fertigungsfehler auf ein Minimum. Die Antriebseinheit in der Prozesskammer sorgt dafür, dass Komponenten optimal aneinander ausgerichtet sind, wodurch die Beschichtungsleistung zusätzlich gesteigert wird.

Hohe Flexibilität bei Target-Materialien

Durch die Auswahl aus einer breiten Palette von Target-Materialien können Sie bis zu drei verschiedene Materialien gleichzeitig in der Prozesskammer verarbeiten und so auch die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen erfüllen.

Beschichtung gekrümmter und grossflächiger Substrate

Die Leybold Optics IBS Serie erfüllt Ihre Anforderungen an Krümmungen und zunehmend grössere Substratdurchmesser – sie kann Durchmesser bis 600 mm beschichten.

Extrem niedrige Fehlerdichten und Streuwerte

Die Ionenstrahl-Sputtertechnologie der IBS Serie senkt Fertigungsfehler auf ein Minimum. Die Antriebseinheit in der Prozesskammer sorgt dafür, dass Komponenten optimal aneinander ausgerichtet sind, wodurch die Beschichtungsleistung zusätzlich gesteigert wird.

Anwendung & Spektrum

Anwendungsbeispiel

Für einen dielektrischen Laserspiegel mit geringem Verlust. Das Laserlicht wird zu mehr als 99,99 % reflektiert, was den Einsatz in Anwendungen mit Hochleistungslasern ermöglicht.

Spektrum

Optisches Reflexionsspektrum eines dielektrischen Laserspiegels mit einer Zentralwellenlänge von 632 nm.

Besondere Merkmale

Auswahl verschiedener Maschinengrössen

Beschichtung von Substraten mit Durchmessern bis 600 mm

Entscheiden Sie sich für die Leybold Optics IBS 1400 für Substrate mit Durchmessern bis 400 mm oder die Leybold Optics IBS 1600 für Durchmesser bis 600 mm und sorgen Sie so für mehr Spielraum beim Beschichten, jetzt und in der Zukunft.

Aussergewöhnliche Schichtgleichmässigkeit und Reproduzierbarkeit

Optische Schichtdickenmessung direkt auf dem Substrat

Das weltweit bewährte optische Schichtdickenmesssystem Leybold Optics OMS 5100 der IBS Serie sorgt dafür, dass jede einzelne Schicht präzise aufgebracht wird. So werden anspruchsvollste Anforderungen für Laser-, Gyroskopspiegel-, Metrologie-, Mikroskopie- und Telekommunikationsanwendungen erfüllt.

Höchste Leistung ohne Verteilungsblenden und Shutter

Geringste Partikeldichte dank intelligentem Design

Konventionelle Systeme, die auf Verteilungsblenden zur Gewährleistung der Gleichmässigkeit angewiesen sind und Shutter zur Vorbereitung der Quelle für den Beschichtungsprozess verwenden, können unerwünschte Partikel erzeugen. Die Leybold Optics IBS Serie erzielt ganz ohne Schilde und Shutter eine hohe Gleichmässigkeit und ein Minimum an Partikeln und steigert so die Gesamtqualität der Beschichtung.

Automatisches Schleusensystem

Laden von Substraten ohne Störung des Vakuums

Um die Verarbeitungsbedingungen in der Prozesskammer stabil zu halten, lässt sich die Leybold Optics IBS 1400 HP um ein automatisches Schleusensystem ergänzen.