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LEYBOLD OPTICS IBS – eine kurze Einführung
LEYBOLD OPTICS IBS – Verfahren zur Beschichtung von Substraten
Durch die Auswahl aus einer breiten Palette von Target-Materialien können Sie bis zu drei verschiedene Materialien gleichzeitig in der Prozesskammer verarbeiten und so auch die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen erfüllen.
Die Leybold Optics IBS Serie erfüllt Ihre Anforderungen an Krümmungen und zunehmend grössere Substratdurchmesser – sie kann Durchmesser bis 600 mm beschichten.
Die Ionenstrahl-Sputtertechnologie der IBS Serie senkt Fertigungsfehler auf ein Minimum. Die Antriebseinheit in der Prozesskammer sorgt dafür, dass Komponenten optimal aneinander ausgerichtet sind, wodurch die Beschichtungsleistung zusätzlich gesteigert wird.
Durch die Auswahl aus einer breiten Palette von Target-Materialien können Sie bis zu drei verschiedene Materialien gleichzeitig in der Prozesskammer verarbeiten und so auch die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen erfüllen.
Die Leybold Optics IBS Serie erfüllt Ihre Anforderungen an Krümmungen und zunehmend grössere Substratdurchmesser – sie kann Durchmesser bis 600 mm beschichten.
Die Ionenstrahl-Sputtertechnologie der IBS Serie senkt Fertigungsfehler auf ein Minimum. Die Antriebseinheit in der Prozesskammer sorgt dafür, dass Komponenten optimal aneinander ausgerichtet sind, wodurch die Beschichtungsleistung zusätzlich gesteigert wird.
Entscheiden Sie sich für die Leybold Optics IBS 1400 für Substrate mit Durchmessern bis 400 mm oder die Leybold Optics IBS 1600 für Durchmesser bis 600 mm und sorgen Sie so für mehr Spielraum beim Beschichten, jetzt und in der Zukunft.
Das weltweit bewährte optische Schichtdickenmesssystem Leybold Optics OMS 5100 der IBS Serie sorgt dafür, dass jede einzelne Schicht präzise aufgebracht wird. So werden anspruchsvollste Anforderungen für Laser-, Gyroskopspiegel-, Metrologie-, Mikroskopie- und Telekommunikationsanwendungen erfüllt.
Konventionelle Systeme, die auf Verteilungsblenden zur Gewährleistung der Gleichmässigkeit angewiesen sind und Shutter zur Vorbereitung der Quelle für den Beschichtungsprozess verwenden, können unerwünschte Partikel erzeugen. Die Leybold Optics IBS Serie erzielt ganz ohne Schilde und Shutter eine hohe Gleichmässigkeit und ein Minimum an Partikeln und steigert so die Gesamtqualität der Beschichtung.
Um die Verarbeitungsbedingungen in der Prozesskammer stabil zu halten, lässt sich die Leybold Optics IBS 1400 HP um ein automatisches Schleusensystem ergänzen.
Mehr Sicherheit und Erfahrung – dank Bühler Serviceleistungen und Schulungen sind Sie bei Produkten und Technologien immer auf dem neuesten Stand.
leyboldoptics.beijing@buhlergroup.com
+86 10 5379 3366
Build 5, No. 2
Yongchang South Rd.
BDA, Peking 100176, China
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