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Instalação de revestimento a vácuo para óptica de precisão

STARpro

O sistema de pulverização catódica reativa de magnetron único STARpro soluciona uma ampla gama de aplicações através do uso de pilhas de camadas de Si3N4 e SiO2. Compacto e fácil de instalar, é ideal para produção de filtros ópticos em pequenos lotes, prototipagem rápida e pesquisa e desenvolvimento.

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Principais benefícios

Sistema de revestimento versátil para produção em pequenos lotes
Com seu design supercompacto, tempo de bombeamento rápido para processar a pressão e capacidade de carregamento de apenas quatro substratos, o STARpro foi projetado para lotes menores, prototipagem rápida e atividades relacionadas a pesquisa e desenvolvimento.
Grande precisão e alta reprodutibilidade
Em combinação com o sistema integrado de monitoramento óptico no local OMS 5100, toda a máquina foi projetada para fornecer precisão exata e alta reprodutibilidade durante toda a vida útil do alvo.
Extremamente fácil de instalar e operar
Usando pequenas garrafas de gás de processo dentro da estrutura da máquina, você só precisa conectar energia elétrica e ar comprimido para iniciar a produção. A interface touch screen torna a operação igualmente simples.

Recursos em destaque

Câmara de bloqueio de carga separada

Alta estabilidade de processo combinada com baixa contaminação de partículos

Uma câmara de bloqueio de carga separada permite manter a câmara de processamento sob condições de vácuo, livre de partículas e umidade. É feito vácuo na câmara de bloqueio de carga assim que os substratos são inseridos e uma válvula de gaveta entre a estação de carregamento e processamento só abre quando há pouca ou nenhuma pressão diferencial, mantendo o nível de partículas dentro da área de processamento ao mínimo.

Distância de pulverização ajustável

Alta reprodutibilidade durante toda a vida do alvo

A área de revestimento é projetada de modo que as distâncias entre o alvo e os substratos possam ser ajustadas com precisão por um sistema de acionamento elétrico. À medida que o perfil de erosão se aprofunda durante a vida útil do alvo, você pode manter a uniformidade do revestimento encurtando a distância. Isso permite manter uma alta qualidade do produto durante toda a vida útil do alvo.

Sistema planetário

Alta uniformidade através da rotação do substrato

A STARpro melhora a uniformidade do revestimento mantendo o substrato girando em um sistema planetário enquanto ele é processado sob a fonte, resultando em características de revestimento da mais alta qualidade.

Principais tópicos

Todos os dias bilhões de pessoas entram em contato com as tecnologias de processo da Bühler para satisfazer suas necessidades básicas de alimentos e mobilidade. Nosso lema é criar "inovações para um mundo melhor". Saiba mais sobre nossos principais tópicos.

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