O sistema de pulverização catódica reativa de magnetron único STARpro soluciona uma ampla gama de aplicações através do uso de pilhas de camadas de Si3N4 e SiO2. Compacto e fácil de instalar, é ideal para produção de filtros ópticos em pequenos lotes, prototipagem rápida e pesquisa e desenvolvimento.
Uma câmara de bloqueio de carga separada permite manter a câmara de processamento sob condições de vácuo, livre de partículas e umidade. É feito vácuo na câmara de bloqueio de carga assim que os substratos são inseridos e uma válvula de gaveta entre a estação de carregamento e processamento só abre quando há pouca ou nenhuma pressão diferencial, mantendo o nível de partículas dentro da área de processamento ao mínimo.
A área de revestimento é projetada de modo que as distâncias entre o alvo e os substratos possam ser ajustadas com precisão por um sistema de acionamento elétrico. À medida que o perfil de erosão se aprofunda durante a vida útil do alvo, você pode manter a uniformidade do revestimento encurtando a distância. Isso permite manter uma alta qualidade do produto durante toda a vida útil do alvo.
A STARpro melhora a uniformidade do revestimento mantendo o substrato girando em um sistema planetário enquanto ele é processado sob a fonte, resultando em características de revestimento da mais alta qualidade.
Todos os dias bilhões de pessoas entram em contato com as tecnologias de processo da Bühler para satisfazer suas necessidades básicas de alimentos e mobilidade. Nosso lema é criar "inovações para um mundo melhor". Saiba mais sobre nossos principais tópicos.
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