Dieses Upgrade umfasst alle Leybold Optics Ionenquellen, HS-Stromversorgungen und aktualisierte Elektronenstrahlkanonen für Ihre Leycom IV Maschine.
Dieses Upgrade umfasst alle Leybold Optics Ionenquellen, HS-Stromversorgungen und aktualisierte Elektronenstrahlkanonen für Ihre Leycom IV Maschine.
Das Syrus LC IV Upgrade ist mit allen Leycom IV Maschinen kompatibel und kann die Ionenquelle Mark II, eine HS-Stromversorgung und eine aktualisierte Elektronenstrahlkanone umfassen.
Optionen
Wir können eine neue Mark II-Ionenquelle einsetzen, die Kühlfalle modifizieren, einen Flip-Over einbauen oder einen vollen Kalottesubstrathalter einbauen.
Energieersparnis
Dank ECO-Modus können Sie den Energieverbrauch folgender Komponenten senken: Diffusionspumpe, PFC, Kühlfalle, Warmwasserversorgung, Wälzkolbenpumpe.
Upgrade-Möglichkeiten des Vakuumsystems
Wir können das Vakuummess- oder Vorvakuumsystem modifizieren und die Isolierung für eine Hochvakuumpumpe einsetzen.
Optionen für Substrathalter
Wählen Sie einem Flip-Over- und einem Vollkalotten-Substrathalter. Der Durchsatz hängt vom Substratdurchmesser ab und liegt zwischen 36 und 58 Linsen.
Modulare Konstruktion
Verschiedene Verdampfungsmuster mit EGC 38 für zahlreiche Schichtmaterialien programmierbar. Die Verbindung zur Aussenluft erfolgt über Flansch DN100.
Gupfenstrasse 5
Uzwil
9240
Schweiz
