O sistema de pulverização catódica reativa de magnetron único STARpro soluciona uma ampla gama de aplicações através do uso de pilhas de camadas de Si3N4 e SiO2. Compacto e fácil de instalar, é ideal para produção de filtros ópticos em pequenos lotes, prototipagem rápida e pesquisa e desenvolvimento.
Com seu design supercompacto, tempo de bombeamento rápido para processar a pressão e capacidade de carregamento de apenas quatro substratos, o STARpro foi projetado para lotes menores, prototipagem rápida e atividades relacionadas a pesquisa e desenvolvimento.
Em combinação com o sistema integrado de monitoramento óptico no local OMS 5100, toda a máquina foi projetada para fornecer precisão exata e alta reprodutibilidade durante toda a vida útil do alvo.
Usando pequenas garrafas de gás de processo dentro da estrutura da máquina, você só precisa conectar energia elétrica e ar comprimido para iniciar a produção. A interface touch screen torna a operação igualmente simples.
Uma câmara de bloqueio de carga separada permite manter a câmara de processamento sob condições de vácuo, livre de partículas e umidade. É feito vácuo na câmara de bloqueio de carga assim que os substratos são inseridos e uma válvula de gaveta entre a estação de carregamento e processamento só abre quando há pouca ou nenhuma pressão diferencial, mantendo o nível de partículas dentro da área de processamento ao mínimo.
A área de revestimento é projetada de modo que as distâncias entre o alvo e os substratos possam ser ajustadas com precisão por um sistema de acionamento elétrico. À medida que o perfil de erosão se aprofunda durante a vida útil do alvo, você pode manter a uniformidade do revestimento encurtando a distância. Isso permite manter uma alta qualidade do produto durante toda a vida útil do alvo.
A STARpro melhora a uniformidade do revestimento mantendo o substrato girando em um sistema planetário enquanto ele é processado sob a fonte, resultando em características de revestimento da mais alta qualidade.
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