Header product
Máquina de deposición al vacío para microelectrónica y optoelectrónica

LEYBOLD OPTICS LTE series

La serie Leybold Optics LTE es la solución de evaporación de larga proyección para el diseño de estructuras a escalas nanométricas para el acoplamiento con el proceso de lift-off y especialmente diseñada para aplicaciones de semiconductores e I+D.

Header product

Ventajas clave

Calidad de recubrimiento óptima
Recubrimientos de alta precisión en obleas texturizadas sin efecto sombra para resultados de fabricación superiores a fin de lograr recubrimientos 3D de alto nivel.
Servicio y experiencia

La serie Leybold Optics LTE se beneficia de 150 años de experiencia de una empresa de películas delgadas líder con servicio disponible en todo el mundo.

Flexibilidad
Evaporación de diferentes materiales, incluidos metales (lift-off de metal) y óxidos, diferentes tamaños de oblea (de 1 a 6 pulgadas, de 8 y 12 pulgadas previa petición) y capacidad para gestionar grandes volúmenes de material. Nuestra solución es plenamente personalizable y flexible.

Características destacadas

Tecnología avanzada de evaporación de larga proyección

Diseño de cámara óptimo para un acondicionamiento mejorado del sustrato

Experimente la tecnología de evaporación revolucionaria con nuestro sistema de diseño exclusivo que presenta una distancia de la fuente al domo de 1,3 metros, lo que permite la evaporación de larga proyección. Nuestro domo adaptable se ocupa de forma precisa de hasta 6 sustratos de 150 mm de diámetro, con opción de capacidad para 200 mm previa petición, garantizando así versatilidad y una cobertura superior para las necesidades de fabricación de alta precisión.

Rendimiento de recubrimiento aumentado

Sinergia del haz de electrones y fuentes de plasma en aplicaciones PIAD

Mediante la unión de un cañón de electrones con una fuente de plasma, nuestro innovador proceso avanzado para deposición asistida por iones de plasma (PIAD) mejora la calidad y adhesión de películas delgadas. Esta combinación tiene como resultado un control de espesor preciso y capacidades de material ampliadas.

Sistema depositador perpendicular de precisión

Diseñada para la excelencia en el recubrimiento direccional

Nuestro sistema depositador de diseño presenta un domo de vanguardia construido para lograr ángulos de deposición casi perpendiculares, garantizando así recubrimientos con la máxima precisión. Este enfoque innovador ofrece una uniformidad y calidad sin precedentes en aplicaciones de película delgada, y establece un nuevo estándar de precisión y rendimiento en la industria.

Proceso de lift-off

Proceso de metalización

  1. Deposición por evaporación física (PVD)
  2. Recubrimiento con fotorresistencia
  3. Deposición de película delgada con patrones
  4. Lift-off de metal

Antes del proceso de lift-off

Después del proceso de lift-off

Productos relacionados

No Results Found
Content Block

¿Cómo podemos ayudar?

Gerente de ventas de semiconductores

Daniel Sa Pereira


daniel.sa_pereira@buhlergroup.com

+49 6023 500 0

Siemensstrasse 88
Alzenau, Alemania
63755