STARpro — реактивная система напыления с одинарным магнетроном, которая позволяет выполнять широкий спектр задач благодаря использованию многослойных покрытий Si3N4 (нитрида кремния) и SiO2 (кремнезема). Компактная и простая в установке, она идеально подходит для производства небольших оптических фильтров, быстрого создания опытного образца и НИОКР.
Благодаря сверхкомпактной конструкции, быстрой откачке до рабочего давления и ёмкости вакуумной камеры всего на четыре подложки, STARpro позволяет производить небольшие партии, быстро создавать опытные образцы и проводить НИОКР.
Оснащенная система оптического контроля OMS 5100 позволяет обеспечить точность и высокую воспроизводимость покрытий на протяжении всего срока службы всей мишени.
Благодаря оснащению баллонами с технологическим газом, для начала эксплуатации STARpro необходимо лишь подключить к ней электропитание и сжатый воздух. Интерфейс с сенсорным экраном также способствует удобству работы на установке.
Загрузочная камера с затвором позволяет поддерживать условия вакуума в рабочей камере, не допускает попадания туда загрязнений и влаги. После размещения подложек в загрузочной камере, из нее откачивается воздух.
Конструкция камеры техпроцесса обеспечивает возможность точной регулировки расстояния между мишенью и подложкой с помощью системы электропривода. Поскольку по мере истечения срока службы мишени изменяется профиль ее эрозии, однородность покрытия можно сохранить за счет сокращения вышеупомянутого расстояния. Это позволяет поддерживать высокое качество выпускаемой продукции в течение всего срока службы мишени.
STARpro улучшает равномерность нанесения слоев, поддерживая вращение подложки в планетарной системе во время обработки под мишенью, что обеспечивает высочайшее качество покрытия.
Миллиарды людей ежедневно имеют дело с технологиями Бюлер, чтобы удовлетворить свои основные потребности в питании и передвижении. Наш девиз — «Инновации, совершенствующие мир». Узнайте больше о наших ключевых темах.
Услуги и программы обучения Бюлер направлены на предоставление вам самых актуальных данных о продукции и технологиях, а также необходимых знаний и опыта.
Гупфенштрассе 5
Уцвиль
9240
Швейцария
