Установка магнетронного напыления HELIOS от Bühler разработана с учетом самых высоких требований к тонкопленочным покрытиям. Используется для нанесения сложных оптических фильтров с выдающимися оптико-механическими характеристиками при производстве, лазерных и чирпированных зеркал, поляризаторов, светоделителей, био- и ADAS-датчиков или бытовой электроники.
Благодаря оптимальному окислению пленки, высокой плотности слоя и малых потерь в наносимых слоях HELIOS достигает максимальных значений лазерной прочности, низкого рассеяния и высокой отражающей способности получаемых покрытий. Это задает новые стандарты для фильтров, состоящих из более чем 200 слоев или толщиной свыше 20 мкм.
Отличная стабильность процессов обеспечивает максимально высокую стабильность производства и непревзойденную воспроизводимость. Инструменты HELIOS хорошо известны точностью толщины до ультра-тонких слоев.
Технология магнетронного распыления с радиочастотной плазменной поддержкой (PARMS) гарантирует точный контроль очень тонкого слоя атомарного уровня, обеспечивая высокое качество продукции и высокий выход продукции.
Технология PARMS (магнетронное распыление с радиочастотной плазменной поддержкой) позволяет производить напыление диэлектрических слоев из металлических мишеней с высокими и низкими показателями преломления, комбинируя технологии среднечастотного (MF) и радиочастотного (RF) распыления с двух магнетронов. Это позволяет обеспечить максимально высокую производительность и качество продукции с непревзойденной точностью напыления на атомарном уровне.
Наша знаменитая система прямого оптического контроля с обратной связью, LEYBOLD OPTICS OMS 5100, обеспечивает точное детерминирование момента окончания напыления каждого слоя. При напылении многослойных покрытий и применении автоматических загрузочных систем возможна смена контрольных стекол, не нарушая вакуума в камере техпроцесса. Это значит, что инструменты HELIOS можно оставлять без присмотра в течение длительного времени без ущерба для качества продукта.
Позволяет быстро переносить оптический дизайн в формате файлов LMR и LPR в напылительную установкуу. Напылительные установки идеально подходят для применения фильтров широкого ассортимента. Это помогает быстро создавать новые продукты и сокращать время их выхода на рынок.
Одновременное напыление с двух магнетронов
Настройка промежуточных показателей преломления
Одновременное распыление с двух магнетронов обеспечивает возможность наносить слои со значением показателя преломления, лежащим между показателями распыляемых материалов. Это повышает гибкость производства и позволяет быстро моделировать или увеличивать суточную производительность.
Индивидуальная настройка
Индивидуальный подход
Настройте вакуумную напылительную установку Helios в соответствии с вашими требованиями к изделиям, процессу и производству.
Миллиарды людей ежедневно имеют дело с технологиями Бюлер, чтобы удовлетворить свои основные потребности в питании и передвижении. Наш девиз — «Инновации, совершенствующие мир». Узнайте больше о наших ключевых темах.
Услуги и программы обучения Бюлер направлены на предоставление вам самых актуальных данных о продукции и технологиях, а также необходимых знаний и опыта.
Гупфенштрассе 5
Уцвиль
9240
Швейцария
