Установка магнетронного напыления HELIOS от Бюлер разработана с учетом самых высоких требований к тонкопленочным покрытиям. Используется для нанесения сложных оптических фильтров с выдающимися оптико-механическими характеристиками при производстве, лазерных и чирпированных зеркал, поляризаторов, светоделителей, био- и ADAS-датчиков или бытовой электроники.
Helios устанавливает новые стандарты для фильтров, состоящих из более чем 200 слоев и толщиной свыше 20 мкм. Он помогает получить правильное окисление пленки, высокую плотность слоя и малые потери в наносимых слоях, что является залогом высокого значения лазерной прочности, низкого рассеяния и высокой отражающей способности получаемых покрытий.
Система Helios создана обеспечивать превосходную стабильность процесса и продукции. Поскольку она может наносить даже ультратонкие слои с идеальной точностью.
В установках Helios используется технология PARMS — магнетронное распыление с радиочастотной плазменной поддержкой. Это обеспечивает точный контроль за нанесением сверхтонких — атомарных — слоев и предназначено для крупномасштабного производства высококачественных продуктов.
Технология PARMS — магнетронное распыление с радиочастотной плазменной поддержкой — производит напыление диэлектрических слоев из металлических мишеней с высокими и низкими показателями преломления. Сочетает в себе технологии среднечастотного (MF) и радиочастотного (RF) распыления с двух магнетронов. Результатом точности напыления атомарного уровня является высочайшая производительность и качество продукции.
Наша система прямого оптического контроля с обратной связью, Leybold Optics OMS 5100, обеспечивает точное детерминирование момента окончания напыления каждого слоя. При напылении многослойных покрытий можно задействовать автоматизированную систему загрузки, что позволит менять контрольные стекла, не нарушая вакуума в камере техпроцесса. Благодаря всему этому Helios можно оставлять без присмотра в течение длительного времени без ущерба для качества продукта.
От разработки до производства
Быстрая отработка покрытий
Позволяет быстро переносить оптический дизайн в формате файлов LMR и LPR в напылительную установкуу. Напылительные установки идеально подходят для применения фильтров широкого ассортимента. Это помогает быстро создавать новые продукты и сокращать время их выхода на рынок.
Одновременное напыление с двух магнетронов
Настройка промежуточных показателей преломления
Одновременное распыление с двух магнетронов обеспечивает возможность наносить слои со значением показателя преломления, лежащим между показателями распыляемых материалов. Это повышает гибкость производства и позволяет быстро моделировать или увеличивать суточную производительность.
Индивидуальная настройка
Индивидуальный подход
Настройте вакуумную напылительную установку Helios в соответствии с вашими требованиями к изделиям, процессу и производству.
Миллиарды людей ежедневно имеют дело с технологиями Бюлер, чтобы удовлетворить свои основные потребности в питании и передвижении. Наш девиз — «Инновации, совершенствующие мир». Узнайте больше о наших ключевых темах.
Услуги и программы обучения Бюлер направлены на предоставление вам самых актуальных данных о продукции и технологиях, а также необходимых знаний и опыта.
Гупфенштрассе 5
Уцвиль
9240
Швейцария
