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Máquina de deposición al vacío para optica de precisión

SYRUSpro series

SyrusPro ofrece un rendimiento y una productividad inigualables para la producción ininterrumpida de filtro óptico. Es una solución de referencia para rangos espectrales de ultravioleta profundo, de espectros de luz visible e infrarrojos.

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Ventajas clave

Máxima flexibilidad

Puede elegir entre ocho tamaños de cámara para todo tipo de capacidades de carga y tamaños de sustrato.

Diseñada para aplicaciones exigentes

SyrusPro ha sido diseñada para satisfacer las especificaciones más exigentes para los regímenes de infrarrojos, ultravioletas profundos y de longitud de onda extremos.

Ajustado a su proceso

Su amplia gama de componentes clave de alta calidad permite configurar SyrusPro para satisfacer todo tipo de necesidades concretas.

Características destacadas

Opciones de cámara

Satisface cualquier necesidad de proceso

Las máquinas de recubrimiento SyrusPro están disponibles en ocho tamaños de cámara, con diámetros interiores de entre 710 y 2800 mm. Esto permite escoger la cámara que mejor se ajuste a la capacidad de carga y el tamaño de sustrato del proceso.

Opciones de recubrimiento

Adaptación a las especificaciones particulares de los recubrimientos

La variedad de recubrimientos que abarca la serie SyrusPro incluye filtros de borde (paso corto o largo), de bloqueo ultravioleta e infrarrojo, con muescas y pasabanda estrechos, de color dicroicos y divisores de haz de polarización, tratamientos antirreflejantes y de HR para láseres y mucho más.

Flexibilidad de los componentes clave

Adaptación a todo tipo de productos

La amplia gama de componentes patentados nos permite adaptar los sistemas a los requisitos del producto. Para dar respuesta a sus necesidades, podemos ayudarle a elegir entre un monitoreo óptico in situ, fuentes de plasma y una amplia gama de evaporadores por haz de electrones, evaporadores térmicos, sistemas de medición de cuarzo y de retenedor de sustrato.

Nuestro moderno sistema de control de procesos combina una alta flexibilidad de programación con unos niveles de automatización máximos, lo que le ofrece el control que necesita para aumentar la eficiencia en los ciclos de producción ininterrumpidos.

Los sistemas para aplicaciones de fotolitografía en una longitud de onda de 193 nm incluyen superficies de cámara tratadas de forma específica, materiales especiales y configuraciones de componentes personalizadas que garantizan un nivel de pérdidas muy bajo. También crea recubrimientos de espejo estables y sin desplazamiento, con los valores de reflectividad altos de las aplicaciones DUV.

A fin de cumplir los requisitos especiales de las aplicaciones de infrarrojos (IR), la máquina puede adaptarse para manejar las cantidades de materiales de revestimiento infrarrojo. Los sustratos planos y muy curvados que necesiten una buena uniformidad se pueden recubrir con un excelente rendimiento de capa en toda la superficie y la curvatura.

Nuestro equipo de expertos de Bühler Leybold Optics trabajará con usted para ayudarle a determinar la configuración que necesita y crear una solución de recubrimiento al vacío de la más alta calidad, eficiencia y fiabilidad para su aplicación.

Temas clave

Miles de millones de personas están en contacto cada día con la tecnología de Bühler, para así cubrir sus necesidades básicas de alimentos y movilidad. Nuestro lema es crear «innovaciones para un mundo mejor». Más información sobre nuestros temas clave.

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