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Máquina de deposición al vacío para óptica de precisión

StarPro

El sistema de sputtering reactivo de magnetrón simple StarPro cubre una amplia gama de aplicaciones mediante el uso de sistemas de capas de Si3N4 y SiO2. Compacto y fácil de instalar, ideal para la producción de lotes pequeños de filtros ópticos, prototipos rápidos e I+D.

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Ventajas clave

Sistema de recubrimiento versátil para la producción de lotes pequeños

Gracias a su diseño supercompacto, el tiempo de evacuación rápido para procesar la presión y la capacidad de carga de solo cuatro sustratos, StarPro está diseñado para producir lotes pequeños, crear prototipos rápidamente y diseñar actividades de I+D.

Precisión ininterrumpida y alta reproducibilidad

Al combinarla con el sistema de medición óptica in situ integrado OMS 5100, toda la máquina está diseñada para ofrecer una precisión ininterrumpida y una alta reproducibilidad durante toda la vida útil del target.

Facilidad total de instalación y manejo

Al usar botellas pequeñas de gas de proceso dentro del bastidor de máquina, solo tiene que conectar el suministro eléctrico y el aire comprimido para iniciar la producción. La interfaz de la pantalla táctil hace que la operación sea igualmente sencilla.

Características destacadas

Cámara por esclusa separada

Alta estabilidad del proceso y baja contaminación por partículas

La cámara por esclusa separada mantiene la cámara de procesamiento en condiciones de vacío, sin partículas ni humedad. Esta solo se evacua cuando se han insertado los sustratos, mientras que la válvula de compuerta entre la estación de carga y la de procesamiento solo se abre con poca o nada de presión diferencial, lo que mantiene el nivel de partículas del área de procesamiento al mínimo.

Distancia de sputtering ajustable

Alta reproducibilidad durante toda la vida útil del target

El área de recubrimiento ha sido diseñada para que las distancias entre el target y los sustratos puedan ajustarse con precisión mediante un sistema de accionamiento eléctrico. A medida que se acentúa el perfil de erosión durante la vida útil del target, la uniformidad del recubrimiento se mantiene acortando la distancia. Esto permite mantener una alta calidad del producto mientras dure el target.

Sistema planetario

Uniformidad elevada gracias a la rotación de sustratos

StarPro mejora la uniformidad del recubrimiento al mantener el giro del sustrato en un sistema planetario mientras se procesa bajo la fuente, lo que da lugar a unas características de recubrimiento de primera calidad.

Temas clave

Miles de millones de personas están en contacto cada día con la tecnología de Bühler, para así cubrir sus necesidades básicas de alimentos y movilidad. Nuestro lema es crear «innovaciones para un mundo mejor». Más información sobre nuestros temas clave.

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