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Máquina de deposición por pulverización catódica para capas extremadamente precisas

HELIOS series

La máquina de recubrimiento por sputtering Helios responde a las exigencias de los recubrimientos de capas finas. Se usa con líneas láser, filtros de borde pronunciado y con muescas, espejos láser y de compensación de la distorsión, polarizadores, etc.

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Ventajas clave

Tecnología innovadora PARMS

Las máquinas de recubrimiento Helios utilizan la tecnología de procesos PARMS, la cual permite controlar con precisión capas muy finas a escala atómica, y ha sido diseñada para fabricar productos de primera calidad y obtener un rendimiento elevado.

Ajuste de la referencia para el monitoreo óptico in situ de sustratos

Helios se ha diseñado para garantizar la excelencia durante el proceso y la estabilidad de la producción. De esta forma, puede cubrir incluso las capas más finas con una precisión óptima.

Nuevos estándares de rendimiento

Helios establece una nueva referencia para filtros de más de 200 capas o más de 20 µm de espesor. Ayuda a obtener una oxidación correcta de la película, densidades de capa altas y pérdidas de capa bajas, una dosificación baja y una reflectividad alta.

Características destacadas

Tecnología PARMS

Películas de alta precisión

La tecnología PARMS permite depositar recubrimientos dieléctricos de targets metálicos con índices de refracción altos y bajos. Combina tecnologías de sputtering de frecuencia media (MF) y radiofrecuencia (RF) sobre dos magnetrones. Esto permite lograr una alta productividad, productos de primera calidad y una precisión a escala atómica.

Monitoreo óptico en los sustratos

Alta reproducibilidad y protección de la producción

El sistema de medición óptica in situ Leybold Optics OMS 5100 garantiza una terminación exacta en cada capa. Con sistemas de capas más grandes, puede incorporar un dispositivo de carga automatizado para cambiar las lentes de prueba sin romper el vacío. De esta manera, puede dejar Helios en funcionamiento y sin supervisión durante largos períodos y no poner en riesgo la calidad del producto.

Puede transferir rápidamente diseños ópticos en formatos de archivo LMR y LPR a la herramienta de producción. Las máquinas de recubrimiento se adaptan perfectamente a la producción gracias a la amplia gama de diseños de filtro. Esto contribuye al desarrollo rápido de prototipos de nuevos productos y a reducir el tiempo de comercialización.

Con el cosputtering, es posible conseguir cualquier índice de refracción que, en teoría, se pueda lograr con materiales de sputtering de índice alto y bajo. Esto mejora la flexibilidad de las herramientas y permite crear prototipos o aumentar rápidamente el rendimiento diario de la producción.

Personalice su máquina de deposición al vacío Helios para adaptarse a sus necesidades en lo relativo a los diferentes productos, procesos y producciones.

Temas clave

Miles de millones de personas están en contacto cada día con la tecnología de Bühler, para así cubrir sus necesidades básicas de alimentos y movilidad. Nuestro lema es crear «innovaciones para un mundo mejor». Más información sobre nuestros temas clave.

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