Bühler Leybold Optics

Модернизация Syrus LC IV для машины Leycom IV

Эта модернизация позволяет включить в вашу машину Leycom IV все ионные источники Leybold Optics, высоковольтные блоки питания и обновленный электронно-лучевой генератор.

image
Bühler Leybold Optics

Модернизация Syrus LC IV для машины Leycom IV

Эта модернизация позволяет включить в вашу машину Leycom IV все ионные источники Leybold Optics, высоковольтные блоки питания и обновленный электронно-лучевой генератор.

Что подразумевает модернизация Syrus LC IV?

Модернизация для всех марок

Решение по модернизации машин для нанесения оптических покрытий

Обновление Syrus  LC IV — это модернизация, совместимая со всем оборудованием LEYCOM IV, которое может включать ионный источник Mark  II, новый блок высоковольтного питания и электронно-лучевые пушки.

Модернизация Syrus LC IV

1
Простое решение для модернизации компонентов
2
Опции для вакуума и держателей подложки
0
Сопряжение с электрошкафом

Мы можем установить новый ионный источник Mark II, модифицировать холодную ловушку, поставить систему переворота подложек, или целиковый куполообразный держатель подложек.

Режим ECO поможет снизить расход энергии диффузионного насоса, холодной  ловушки, нагревателя воды и насоса Рутса.

Мы можем модифицировать систему измерения вакуума или систему предварительного вакуумирования и установить изоляцию для высоковакуумного насоса, если это необходимо для технологического процесса.

Есть выбор между переворачивающим или целиковым держателем подложек куполообразной формы. Объем загрузки от 36 до 58 линз, в зависимости от диаметра подложки.

Возможность программирования различных схем испарения для различных слоев материала с помощью EGC 38. Соединения в атмосфере через одиночный фланец DN100.

Ваши преимущества

Позвольте нашему опыту работать на вас

Быстрая установка
Время установки может быть сокращено с минимальными простоями производства.
Замена электрошкафа не требуется
Для этой модификации не требуется замена электрошкафа.
Стандартное программное обеспечение OptiControl
Это обновление включает в себя наше новейшее стандартное программное обеспечение OptiControl для улучшения управления и связи.
Content Block

Чем мы можем помочь?


Гупфенштрассе 5
Уцвиль
9240
Швейцария