Эта модернизация позволяет включить в вашу машину Leycom IV все ионные источники Leybold Optics, высоковольтные блоки питания и обновленный электронно-лучевой генератор.
Эта модернизация позволяет включить в вашу машину Leycom IV все ионные источники Leybold Optics, высоковольтные блоки питания и обновленный электронно-лучевой генератор.
Обновление Syrus LC IV — это модернизация, совместимая со всем оборудованием LEYCOM IV, которое может включать ионный источник Mark II, новый блок высоковольтного питания и электронно-лучевые пушки.
Опции
Новый ионный источник и многое другое
Мы можем установить новый ионный источник Mark II, модифицировать холодную ловушку, поставить систему переворота подложек, или целиковый куполообразный держатель подложек.
Экономия энергии
Новейшая версия OptiControl с режимом ECO
Режим ECO поможет снизить расход энергии диффузионного насоса, холодной ловушки, нагревателя воды и насоса Рутса.
Опции для вакуума
Экономия энергии
Мы можем модифицировать систему измерения вакуума или систему предварительного вакуумирования и установить изоляцию для высоковакуумного насоса, если это необходимо для технологического процесса.
Варианты держателей подложки
Увеличение производительности линз
Есть выбор между переворачивающим или целиковым держателем подложек куполообразной формы. Объем загрузки от 36 до 58 линз, в зависимости от диаметра подложки.
Модульная конструкция
HPE 6, HPE 12/10
Возможность программирования различных схем испарения для различных слоев материала с помощью EGC 38. Соединения в атмосфере через одиночный фланец DN100.
Время установки может быть сокращено с минимальными простоями производства.
Для этой модификации не требуется замена электрошкафа.
Это обновление включает в себя наше новейшее стандартное программное обеспечение OptiControl для улучшения управления и связи.
Гупфенштрассе 5
Уцвиль
9240
Швейцария
