Esta actualización le brinda la opción de incluir todas las fuentes de iones de Leybold Optics, alimentación de energía eléctrica de alta tensión y EBG actualizado en su máquina Leycom IV.
Esta actualización le brinda la opción de incluir todas las fuentes de iones de Leybold Optics, alimentación de energía eléctrica de alta tensión y EBG actualizado en su máquina Leycom IV.
La actualización Syrus LC IV es una actualización compatible con todas las máquinas LEYCOM IV, que puede incluir una fuente de iones Mark II, una nueva alimentación de energía eléctrica de alta tensión y un cañón de electrones (EBG) actualizado.
Opciones
Podemos insertar una nueva fuente de iones Mark II, modificar la trampa fría o introducir un cambio de dirección o incluir un retenedor de sustrato de calota completo.
Ahorro de energía
El modo ECO le permite ahorrar energía en su bomba difusora, el PFC, su trampa fría, su abastecimiento de agua caliente y su bomba Roots.
Opciones de vacío
Podemos modificar la medición de vacío o el sistema de vacío previo e insertar un desacoplamiento para una bomba de alto vacío si fuese relevante para su proceso.
Opciones de retenedor de sustrato
Puede elegir entre un cambio de dirección o un retenedor de sustrato de calota completo. El rendimiento es de entre 36 y 58 lentes, según el diámetro de su sustrato.
Diseño modular
Programable en diversos patrones de evaporación para gran variedad de materiales de capa con EGC 38. Conexiones en atmósfera mediante brida simple DN100.
Gupfenstrasse 5
Uzwil
9240
Suiza
