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Precision Optics

Aplicações para precisão e perfeição

A manipulação da luz é a chave no setor de ótica de precisão. Seus produtos finais são usados em uma vasta gama de aplicações, como lentes óticas para sistemas de câmera e telefones celulares, equipamentos de visão noturna, aplicações de laser, telecomunicações e sensores para diferentes tipos de requisitos de detecção. Os substratos a serem revestidos podem ter diâmetros de menos de 1 mm até mais de 4 m, com diferentes formas e materiais de substrato. Revestimentos EUV e DUV
Para atingir maior resolução e estruturas menores, pesquisas atuais e o desenvolvimento estão se concentrando no uso de raios-X com um comprimento de onda de 13,4 mm, ou seja, no âmbito de ultravioleta extrema (EUV). Os sistemas de camadas possuem mais de 100 camadas com uma espessura de camada individual de alguns nanômetros. Isso exige alta precisão, alta estabilidade e uma reprodutibilidade excelente do processo de revestimento. Com o desenvolvimento de sucesso e a introdução no mercado de nosso sistema de pulverização singular, a série NESSY, a Bühler Leybold está preparada para atender a última geração de aplicações de litografia EUV. Entretanto, esta máquina de revestimento também é, por princípio, compatível com outras áreas de operação, como a formação de revestimentos de raio-X, que normalmente são desenvolvidas especialmente para dispositivos de medição em áreas com comprimentos de onda muito específicos.

O padrão atual na fotolitografia é o uso de luz na gama profunda ultravioleta (DUV) em 193 nm. Na série SYRUSpro, a Bühler Leybold Optics desenvolveu um sistema de revestimento especial para aplicações DUV. Este equipamento de revestimento oferece revestimentos densos e sem deslocamento, ao mesmo tempo que fornece todas as vantagens da fonte de íon do LEYBOLD OPTICS APSpro. Revestimentos com fluoretos na máquina específica de DUV apresentam índices de perdas muito baixos e podem ser usados especialmente em revestimentos antireflexão (AR) para lentes usadas nos dispositivos de fotolitografia. Esta plataforma de revestimento também é capaz de reproduzir revestimentos de espelho de alta reflexão com uma refletividade de até 99%.

Revestimentos IR
As aplicações de visão noturna exigem revestimentos em intervalos de comprimento de onda de 3 µm ... 5 µm e 8 µm … 12 µm e acima. A Bühler Leybold Optics desenvolveu vários processos de revestimento específicos para atender este requisito. O portfólio inclui revestimentos antirreflexo (AR), revestimentos de espelho e vários revestimentos de filtro e passa-faixa. Os revestimentos com fluoreto usados em infravermelho (IR) também podem atingir uma resistência ambiental e durabilidade maiores com o auxílio da fonte de plasma LEYBOLD OPTICS APSpro. Nós desenvolvemos a máquina perfeita para as aplicações da linha de infravermelho na série SYRUSpro. Para revestimentos robustos e de alta resistência, nós desenvolvemos um revestimento de carbono semelhante ao diamante, processado em nosso sistema de deposição química de vapor enriquecido com plasma (PECVD) de nome LEYBOLD OPTICS DLC 600.

Revestimentos de espelho e laser
Os revestimentos de laser exigem alta refletividade, poucas perdas e alto desempenho em toda a vida útil, junto com valores-limite de danos de laser altos. A Bühler Leybold Optics oferece uma grande variedade de processos de revestimento e equipamentos para toda a gama do espectro, desde UV profundo (DUV), espectro visível (VIS) e infravermelho próximo (NIR) até o infravermelho (IR). Os processos de evaporação e o equipamento são feitos sob medida para as aplicações de comprimento de onda correspondentes.

Os revestimentos de laser por pulverização, aqui, a Bühler Leybold Optics também oferece a solução essencial, com a série HELIOS dos sistemas de pulverização para aplicações óticas. Camadas densas e sem deslocamento com poucas perdas, alta refletividade e baixa dispersão podem ser obtidas com o sistema HELIOS. Equipado com um sistema de trava de carga ao mesmo tempo que mantém a câmara de revestimento sob vácuo, esta máquina é perfeita para a instalação de sala estéril e é ideal para alta produtividade em um ambiente estéril.

Para espelhos de banda larga com sistemas de camadas avançados, os aplicadores das séries SYRUSpro e HELIOS fornecem uma grande variedade de processos de revestimento. Uma aplicação especial são os espelhos de luz fria para aplicações de projetor, onde a saída de luz alta deve ser feita de revestimentos de espelhos dielétricos por substratos altamente arqueados. Para esta aplicação, o SYRUSpro 1510 com sistema planetário com montagem giratória é a escolha perfeita.

Revestimentos de filtro dielétrico
Para a grande demanda do mercado por filtros dielétricos, a Bühler Leybold Optics também oferece as soluções em forma de revestimentos de filtro dielétrico para testes de aceitação, além de seus sistemas de revestimento. Isso inclui filtros de corte UV-IR para câmeras digitais e telefones celulares, separadores de feixes de polarização, revestimentos de filtro passa-faixa, revestimentos de filtros de cor, revestimentos de filtro passa-faixa estreitos com cavidades múltiplas e bloqueio elevado, e muito mais.

O sistema de monitoramento ótico direto na calota com nossos dispositivos premium LEYBOLD OPTICS OMS 5100 garante alta precisão para revestimentos de filtro desafiadores, alta reprodutibilidade de produção e revestimentos como filtros de cavidade múltiplos na calota (impossível sem monitoramento direto). A série SYRUSpro de sistemas de revestimento de evaporação combina todas essas vantagens. Ainda mais avançados são os aplicadores da série HELIOS. Seus sistemas de pulverização são equipados com monitoramento no local usando LEYBOLD OPTICS OMS 5100 que faz a medição diretamente na plataforma giratória do substrato e, assim, oferece a vantagem dos processos altamente repetitivos com a mais alta precisão, até mesmo para as especificações óticas mais difíceis.

Sobre a Bühler Leybold Optics

No início de 2012, a Leybold Optics GmbH se tornou uma subsidiária do Grupo Bühler com sede na Suíça: a Business Unit Leybold Optics, que legalmente ganhou o nome de Bühler Alzenau GmbH em 2015, opera sob a divisão Advanced Material do Grupo Bühler.