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Série HELIOS de instalações para deposição de filmes metálicos a vácuo de ótica de precisão

Série HELIOS de instalações para deposição de filmes metálicos a vácuo de ótica de precisão –A plataforma de alta precisão e rendimento para produtos de revestimento de alto nível

- Tecnologia de processo PARMS para o controle preciso de camadas muito finas em escala atômica
- Estabilidade de processo extremamente alta
- Co-pulverização para índices de refração baixos e altos
- Desempenho de revestimento a laser de referência

Série HELIOS

A série HELIOS da Bühler Leybold Optics é uma plataforma flexível para revestimento de filme fino totalmente automatizada, precisa e rápida. Ela foi desenvolvida e especialmente criada para revestimentos óticos de alta qualidade com designs de filtro sofisticados para alto rendimento e rentabilidade. Camadas extremamente densas, macias, amorfas e estequiométricas garantem uma performance ótica sem precedentes. O sistema de monitoramento ótico para medições locais no substrato facilita a máxima precisão em controle de espessura de camada. Excelente produtividade e qualidade de camada
  • A tecnologia de ponta de pulverização de magnetron reativa assistida por plasma (PARMS) permite a deposição de revestimentos dielétricos de alvos de metal, assistida por uma fonte de plasma de radiofrequência com alta taxa de deposição para alta produtividade, o que resulta em produtos de grau avançado com alta precisão em escala atômica e alto rendimento.
  • Durante cada rotação, uma camada de óxido fina sub-estequiométrica é depositada pelo magnetron duplo selecionado e transferida para uma camada de óxido não absorvente enquanto passa o plasma de oxigênio da fonte de radiofrequência. Este método garante as menores perdas e resultados estequiométricos perfeitos – mesmo em pulverização de alvos de metal.

O monitoramento ótico facilita a alta estabilidade de produção

  • O monitoramento direto ótico local no substrato é feito em um modo intermitente usando um vidro de teste em uma das posições de substrato dentro do rolamento para mesas giratórias em rotação. Isso resulta em estabilidade de produção extremamente alta e repetibilidade do revestimento.
  • O rolamento para mesas giratórias rápido permite a produção de camadas muito finas de alguns nanômetros e alta precisão.
  • A capacidade de transferir rápida e diretamente os designs óticos para a produção faz com que a série HELIOS seja a escolha perfeita para a produção de alta precisão para uma grande variedade de designs de filtro.

A co-pulverização garante a realização de índices de refração intermediários
A co-pulverização permite a realização de qualquer índice de refração entre os materiais instalados de alto e baixo índice. Além disso, os designs mais simples podem ser feitos para várias aplicações, como separadores de feixes polarizados, usando um ou mais índices intermediários ótimos.

Valores limite de danos de laser de referência para revestimentos a laser
Pulverização catódica por radiofrequência de material SiO2 de índice baixo combinada com pulverização catódica MF de material de índice alto permite os maiores valores de limite de dano de laser para revestimentos a laser, alta refletividade e baixa dispersão. Uma outra ilustração sobre como os aplicadores HELIOS da Bühler Leybold Optics estão definindo os padrões no desempenho de revestimento a laser.

Sobre a Bühler Leybold Optics

No início de 2012, a Leybold Optics GmbH se tornou uma subsidiária do Grupo Bühler com sede na Suíça: a Business Unit Leybold Optics, que legalmente ganhou o nome de Bühler Alzenau GmbH em 2015, opera sob a divisão Advanced Material do Grupo Bühler.