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Máquinas de recubrimiento de vidrio al vacío LEYBOLD OPTICS DIS serie V,

Máquinas de recubrimiento de vidrio al vacío LEYBOLD OPTICS DIS serie V, un potente sistema para todas las aplicaciones de sputtering en línea con calentamiento vertical

- Alta flexibilidad
- Poco requerimiento de espacio
- Fácil mantenimiento

LEYBOLD OPTICS DIS serie V

LEYBOLD OPTICS DIS serie V es una herramienta de recubrimiento por sputtering vertical en línea diseñada específicamente para la producción en sala limpia, donde no cabe ni el más mínimo impacto de partícula. El diseño plegado único con carga y descarga de sustratos desde un lateral y procesamiento desde ambos laterales garantiza el uso eficiente en un entorno de sala limpia y un requerimiento de espacio reducido al mínimo. El sistema puede procesar grandes sustratos con tamaños de hasta Gen 10. Dependiendo de las necesidades, el sistema puede configurarse como una solución de transporte sin el más mínimo contacto. Al poder calentar un sustrato activo hasta 350 °C, LEYBOLD OPTICS DIS serie V es adecuada para todos los procesos con óxidos conductores transparentes y dieléctricos. Alta flexibilidad gracias al diseño ampliable y a su potente capacidad de calentamiento
  • Ampliable hasta Gen 10, la estructura de la máquina se adapta a las necesidades específicas del cliente.
  • LEYBOLD OPTICS DIS serie V puede calentar los sustratos hasta 350 °C, lo que permite una mezcla flexible de productos.
  • Disponemos de cátodos planos y rotatorios para óxidos conductores transparentes (TCO, por sus siglas en inglés) y de dieléctricos para facilitar una mezcla de producto versátil con una sola máquina.

Módulo rotativo para menos requerimientos de espacio
El proceso de doble cara con un módulo rotativo de acero inoxidable minimiza el requerimiento de espacio y hace posible el diseño a prueba de sala limpia.

Diseño avanzado de cátodo para un mantenimiento rápido y fácil

  • Los cátodos articulados garantizan un mantenimiento fácil y rápido. No se requiere grúa para abrir los cátodos.
  • Puede realizarse el mantenimiento de todos los cátodos a la vez.

Acerca de Bühler Leybold Optics

A principios de 2012, Leybold Optics GmbH pasó a ser una filial de Bühler Group, con sede en Suiza: Business Unit Leybold Optics, que legalmente recibió el nombre de Bühler Alzenau GmbH en 2015, opera dentro del departamento de Materiales avanzados de Bühler Group.