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Serie HELIOS de máquinas de recubrimiento al vacío para óptica de precisión,

Serie HELIOS de máquinas de recubrimiento al vacío para óptica de precisión, la plataforma de alta precisión y alto rendimiento para recubrir productos de gama alta

- Tecnología de proceso PARMS para un control preciso de capas muy finas a escala atómica
- Altísima estabilidad de proceso
- Co-sputtering para índices refractivos altos y bajos
- Rendimiento en recubrimiento láser de referencia

Serie HELIOS

La serie HELIOS de Bühler Leybold Optics es una plataforma flexible para recubrir con película delgada de forma rápida, precisa y completamente automatizada. Está diseñada especialmente para realizar recubrimientos ópticos de alta calidad mediante diseños de filtros sofisticados, que además se logran con un alto rendimiento. Unas capas extremadamente densas, suaves, estequiométricas y amorfas son el resultado de un rendimiento inigualable. El sistema de monitorización óptica controla el grosor de capa con máxima precisión directamente sobre el sustrato, in situ. Excelente productividad y calidad de capa
  • La última tecnología en sputtering magnetrón reactivo asistido por plasma (PARMS) permite depositar recubrimientos dieléctricos de materiales diana metálicos mediante fuente de plasma de radiofrecuencia (RF), logra una elevada tasa de deposición y alta productividad, y sus productos son de la mejor calidad, con una elevada precisión a escala atómica.
  • En cada rotación, el magnetrón dual seleccionado deposita una delgada capa de óxido subestequiométrica, que se transfiere a una capa de óxido no absorbente pasando por el plasma de oxígeno de la fuente RF. Este método garantiza las mínimas pérdidas y ofrece unos resultados estequiométricos perfectos, incluso en sputtering de dianas de metal.

La monitorización óptica facilita la alta estabilidad de la producción

  • La monitorización óptica directa in situ sobre el sustrato se realiza de modo intermitente mediante un vidrio de ensayo en una de las posiciones del sustrato dentro de la plataforma giratoria. Su resultado es una estabilidad y repetitividad altísimas de la producción.
  • Gracias a la rápida plataforma giratoria pueden producirse capas delgadas de unos pocos nanómetros con alta precisión.
  • La serie HELIOS es ideal para la producción de alta precisión para una amplia variedad de diseños de filtro gracias a la transferencia rápida y directa de los diseños ópticos a la producción.

El co-sputtering garantiza la realización de índices refractivos intermedios
El co-sputtering permite realizar cualquier índice refractivo entre los materiales instalados de índice alto y bajo. Adicionalmente, utilizando uno o varios índices intermedios óptimos, se realizan diseños más fáciles para determinadas aplicaciones, como por ejemplo, divisores de haz polarizado.

Umbrales de daño láser de referencia para recubrimientos láser
El sputtering RF de material SiO2 de índice bajo combinado con sputtering MF de material de índice alto permite los umbrales de daño láser más altos en recubrimientos láser, baja dispersión y alta reflectividad. Otro ejemplo de cómo las máquinas de recubrimiento HELIOS, de Bühler Leybold Optics, son una referencia en cuanto a rendimiento en recubrimiento láser.

Acerca de Bühler Leybold Optics

A principios de 2012, Leybold Optics GmbH pasó a ser una filial de Bühler Group, con sede en Suiza: Business Unit Leybold Optics, que legalmente recibió el nombre de Bühler Alzenau GmbH en 2015, opera dentro del departamento de Materiales avanzados de Bühler Group.