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Vakuum-Beschichtungsmaschine LEYBOLD OPTICS GLC 2000V

Vakuum-Beschichtungsmaschine LEYBOLD OPTICS GLC 2000V - Vertikale Sputter-Maschine für die anspruchsvollsten Anwendungen

- Vielseitige Anwendung
- Höchste Flexibilität und Zuverlässigkeit
- Ausgezeichnetes gleichmässiges Heizen
- Optimierte Wartbarkeit

Vakuum-Beschichtungsmaschine LEYBOLD OPTICS GLC 2000V

LEYBOLD OPTICS GLC 2000V ist das Sputter-Werkzeug für hohe Präzision. Es bietet eine Kombination aus grossen Substrat-Grössen und breiten Temperaturbereichen mit einer standardmässigen Schichtverteilung von +/- 1,5 %. Zu den typischen Beschichtungen zählen Low-E-, Solar-Control- und AR-Beschichtungen, hoch reflektierende und transparente, leitfähige Oxidbeschichtungen sowie exotische Targetmaterialien. Vielseitige Anwendungsmöglichkeiten durch einen breiten Temperaturbereich
  • Der breite Temperaturbereich unterstützt eine vielseitige Produktpalette für komplexe Anwendungen.
  • Die LEYBOLD OPTICS GLC 2000V ist eine Grundvoraussetzung für anspruchsvolle Schichtsysteme und exotisches Sputter-Material.

Intelligente Konstruktion und Software für höchste Flexibilität und Zuverlässigkeit

  • Die Kammerkonstruktion ermöglicht eine flexible Positionierung der Kathoden im System LEYBOLD OPTICS GLC 2000V.
  • Die fortschrittliche Software sorgt für eine hohe Verfügbarkeit trotz komplexer Transportbedingungen.

Ausgezeichnetes gleichmässiges Heizen durch optimierte Heizbereiche
Eine gleichmässige Aufheizung ist absolut grundlegend für die Produktion von hochleistungsfähigen TCO-Schichten (transparentes, leitfähiges Oxid). Selbst bei Substrat-Temperaturen von bis zu 350 °C erreicht die LEYBOLD OPTICS GLC 2000V durch mehrere anpassbare Heizbereiche eine ausgezeichnete Temperaturverteilung.

Ausgezeichnete Wartbarkeit durch die Kathodendeckelkonstruktion
Die einzigartige Kathodenkonstruktion ermöglicht einen ausgezeichneten Zugang und eine einfache Wartung, wodurch die Stillstandszeiten der LEYBOLD OPTICS GLC 2000V auf ein Minimum beschränkt werden.