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Komponenten für den Materialauftrag

Hohe Geschwindigkeit und gleichförmige Materialverteilung

Zu den wichtigsten Qualitätsmerkmalen des Endprodukts zählen die Gleichmäßigkeit und die Reproduzierbarkeit der aufgetragenen Dünnschichten. Zusätzlich müssen die Maschine und ihre Komponenten eine hohe Materialauftragsgeschwindigkeit ermöglichen, um den ständig steigenden Qualitäts- und Produktivitätsansprüchen gerecht zu werden. Bühler Leybold Optics konstruiert und fertigt hochwertige Komponenten, um diese Anforderungen zu erfüllen.

Verdampfer von Bühler Leybold Optics

Thermische Widerstandsverdampfer
Bei vielen ophthalmischen Prozessen ist das thermische Bedampfen unter Einsatz schiffchenförmiger, widerstandsfähiger Quellen entscheidend. Bühler Leybold Optics verfügt über eine grosse Vielzahl an Modellen mit unterschiedlicher Anzahl und unterschiedlichem Volumen der Schiffchen. Die ausgeklügelten modularen Konzepte der Beschichtungssysteme SYRUS und ARES ermöglichen ein Höchstmass an Flexibilität bei der Positionierung und Auswahl der Modelle. Zusammen mit den geeigneten Elektronenstrahl- und Plasmaquellen ist für jede Anwendung die optimale Anlagenkonfiguration möglich.

Elektronenstrahl-Kanonen
Auf der Grundlage jahrzehntelanger Erfahrung auf dem Gebiet der Dünnschicht-Technologie und der Elektronenstrahl-Kanonen hat Bühler Leybold Optics die Elektronenstrahl-Kanonen der LEYBOLD OPTICS HPE Baureihe entwickelt. Diese Baureihe wird zum Aufdampfen einer grossen Vielzahl an Beschichtungsstoffen verwendet, darunter z. B. Oxide, Fluoride, Metalle und Sulfide. Die HPE-Technologie kommt hauptsächlich bei Beschichtungsmaschinen und auf dem Gebiet der Optik, Elektronik und Optoelektronik zum Einsatz.

Sputter-Quellen
Durch die Sputter-Technologie können Substrate mit hoher Auftragsgeschwindigkeit unter Hochvakuum-Bedingungen mit Dünnschichten aus Materialien wie Metallen, Oxiden und voroxidierten Metallen beschichtet werden. Wenn sehr dichte Schichten, spezielle Materialzusammensetzungen oder Schichten mit niedrigen Verlusten erforderlich sind, ist die Sputtertechnologie die perfekte Wahl. Bühler Leybold Optics bietet die gesamte Bandbreite: Von einfachen zu doppelten Magnetronsystemen, von ebenflächigen zu drehbaren Anordnungen und vom DC-Sputtern über das MF-Sputtern bis hin zum HF-Sputtern ist alles möglich.

Kontakt

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