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Vakuum-Beschichtungsmaschine LEYBOLD OPTICS GLC der Baureihe H

Vakuum-Beschichtungsmaschine LEYBOLD OPTICS GLC der Baureihe H – Eine flexible Lösung für die industrielle Produktion auf höchstem Niveau.

- Geringe Betriebskosten
- Hohe Prozessqualität
- Optimierte Konstruktion

LEYBOLD OPTICS GLC Baureihe H

Die LEYBOLD OPTICS GLC der Baureihe H ist eine horizontale Inline-Sputter-Beschichtungsmaschine, die speziell für die Bedürfnisse der Architekturglas-Beschichtung entwickelt wurde. Mit ihrer einzigartigen Kammerkonstruktion ist die LEYBOLD OPTICS GLC der Baureihe H bestens für anspruchsvolle Schichtsysteme und flexible Produktportfolios geeignet. Zu den typischen Beschichtungen zählen Solar-Control-Beschichtungen, Antireflex-Beschichtungen sowie Single, Double und Triple Low-E Beschichtungen. Die LEYBOLD OPTICS GLC der Baureihe H ist für die Standard-Substratgrössen US und Jumbo geeignet und kann für die Beschichtung von Glasflächen in der Grösse von bis zu 3,3 m * 15,6 m konfiguriert werden. Moderne Technologie garantiert niedrige Produktionskosten
  • Die moderne Abstandskontrolle ermöglicht einen maximalen und wirtschaftlichen Einsatz des Targetmaterials, um die Produktionskosten niedrig zu halten.
  • Mit Doppelplanarkathoden in voller Grösse wird entweder die Standzeit für ein Targetmaterial verdoppelt oder die Flexibilität eines zweiten Materials ermöglicht.

Einzigartige Gasflussführung für eine hohe Prozessqualität

  • Die einzigartige Glasflussführung führt zu hohen reaktiven Sputter-Raten mit der niedrigsten Target-Oxidation und einem verringerten Prozessgasverbrauch.
  • Eine aktive Gastrennung sorgt für effiktive Gastrennungsfaktoren, selbst bei kleinen Stellflächen.
  • Die optimierte Konstruktion ermöglicht eine Verringerung der TMP-Leistung (Turbo-Molekularpumpe) im Prozess, was unmittelbar zu Energieeinsparungen führt.

Intelligente Lösungen für eine optimierte Konstruktion

  • Die optimierte Kammerkonstruktion mit 850 mm gewährleistet einen stabilen Prozess und eine ausgezeichnete Gastrennung.
  • Das Top-pumping Kathodendesign verringert die Gesamtlänge der Beschichtungsmaschine.