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LEYBOLD OPTICS FLC flexible electronics vacuum coater

LEYBOLD OPTICS FLC flexible electronics vacuum coater – Rolle-zu-Rolle Hochvakuum-Sputter-Beschichtung für Produktion und F+E

- Hohe Produktivität, Vielseitigkeit und Flexibilität
- Hervorragende Endproduktqualität
- Einfache Wartung und hohe Maschinenverfügbarkeit
- Kompakte Bauweise

LEYBOLD OPTICS FLC 650

Ihren Einsatz findet die LEYBOLD OPTICS FLC 650 Rolle-zu-Rolle Hochvakuum-Sputter-Beschichtungsanlage sowohl im Produktions- als auch im Entwicklungsbereich. In Produktionsumgebung bietet die Maschine mit ihrer maximalen Beschichtungsbreite von 650 mm, einem maximalen Substrat-Rollendurchmesser von 500 mm und einer Wickelgeschwindigkeit von 0,1 bis 25,0 m/min eine ausgezeichnete Produktivität. Die nahezu unbegrenzten Bestückungsmöglichkeiten der bis zu sechs Rotationskathoden mit metallischen oder dielektrischen Target-Materialien ermöglichen es, eine große Bandbreite optischer und flexibler Elektronik-Anwendungen zu adressieren. Komplettiert wird dies durch die Verfügbarkeit einer Vielzahl von verschiedenen in-situ Messsystemen. Für die Beschichtung von flexiblen Substraten für Anwendungen wie beispielsweise ITO-Folien, flexible Leiterplatten (FPCB), Low-E oder Smart-Glas ist die Maschine somit die perfekte Wahl. Hohe Produktivität durch eine äußerst vielseitige und flexible Maschine
  • Die hohe Produktivität der LEYBOLD OPTICS FLC 650 basiert auf den bis zu sechs vorhandenen Rotationskathoden, einer maximalen Beschichtungsbreite von 650 mm und einem möglichen Substratrollendurchmesser von bis zu 500 mm.
  • Die an einem beweglichen Kammerflansch montierten Magnetrons in Verbindung mit der optionalen Gastrennung zwischen benachbarten Prozessbereichen machen die LEYBOLD OPTICS FLC 650 zu einem sehr vielseitigen System. Durch die Trennung der Prozessbereiche ist es möglich in nur einem Beschichtungsvorgang eine Vielzahl denkbarer Schichten aufzubringen.
  • Zusätzlich zur Möglichkeit, reaktive Sputter-Prozesse unmittelbar neben nicht-reaktiven Sputter-Prozessen ablaufen zu lassen, kann die LEYBOLD OPTICS FLC 650 mit verschiedensten in-situ-Sensoren ausgerüstet werden.

Kontinuierliche und hervorragende Endproduktqualität durch ein intelligentes Maschinenkonzept

  • Sowohl die sogenannte „sputter-up“ Orientierung der Magnetrons als auch die Rotationskathoden selbst gewährleisten eine geringstmögliche Partikelbildung während des Beschichtungsprozesses und garantieren somit wiederum höchstmögliche Schichtqualität.
  • Die kontinuierliche Bahnzugregelung (25 - 600 N) in Verbindung mit verschiedenen verfügbaren Optionen für das Wickelsystem und die Walzenoberflächenvergütungen garantieren ein kratzer- und faltenfreies Wickeln des jeweiligen Substrates. Wenn nötig gewährleistet die wahlweise vorhandene Plasma-Vorbehandlung eine perfekte Schichthaftung, während die temperaturgeregelte Beschichtungswalze (-15 bis +80 °C) für den Erhalt des perfekten Substrat-Zustandes während der Beschichtung sorgt.
  • Schließlich ermöglichen die verfügbaren in-situ-Sensoren eine kontinuierliche und genaue Überwachung der jeweiligen gewünschten physikalischen Schichteigenschaften, wie z. B. des elektrischen Widerstands, der Reflexion oder Transmission.

Einfache Wartung und hohe Maschinenverfügbarkeit durch eine intelligente und robuste Bauweise

  • Die robuste und intelligente Konstruktion der LEYBOLD OPTICS FLC 650 reduziert den Wartungsaufwand auf ein Minimum. Alle wartungsfähigen Bauteile sind leicht zugänglich und einfach zu warten, wodurch eine hohe Maschinenverfügbarkeit gewährleistet wird.
  • Die Wahrscheinlichkeit der Entstehung unerwünschter Partikel wird durch die einfache und ausgezeichnete Zugänglichkeit der Maschine zu Reinigungs- und Wartungszwecken auf ein Minimum reduziert.
  • Schlüsselkomponenten, wie beispielsweise die Magnetrons, Stromversorgungen und Vakuumpumpen wurden für einen durchgängigen Dreischicht-Maschinenbetrieb entwickelt. Ausgestattet mit diesen Merkmalen ist die Maschine in der Lage, je nach Schichtsystem und Schichteigenschaften, ein Produktionsvolumen von mehreren hunderttausend bis hin zu einigen Millionen Quadratmetern pro Jahr zu bedienen.

Minimaler Stellflächenbedarf durch kompakte Konstruktionsweise

  • Durch die Kompaktbauweise der LEYBOLD OPTICS FLC 650 ist die Maschine sehr platzsparend und einfach zu handhaben, wodurch ein schneller und unkomplizierter Aufbau oder Standortwechsel möglich sind. Das System benötigt daher zudem lediglich eine geringe Aufstellfläche (insgesamt ca. 70 m²).