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LEYBOLD OPTICS DLC Vacuum Coater

LEYBOLD OPTICS DLC Vacuum Coater – Das Werkzeug für diamantähnliche Kohlenstoffbeschichtungen

- Extrem umgebungsbeständige und harte DLC-Beschichtungen
- Ausgezeichnete Schichtgleichmäßigkeit
- Hohe Genauigkeit

LEYBOLD OPTICS DLC

LEYBOLD OPTICS DLC ist ein Hochvakuum-PECVD-System (plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung) zur Auftragung von Antireflex-Beschichtungen (AR), welche hauptsächlich für Infrarot-Anwendungen (IR) von Wärmebildsystemen verwendet werden. Die führenden Unternehmen der Industrie verwenden die Maschine LEYBOLD OPTICS DLC, um ihre optischen Geräte vor Beschädigungen zu schützen. Der Schutz wird durch das Aufbringen extrem harter und umgebungsbeständiger optischer Beschichtungen ermöglicht, welche in dieser Maschine auf die Substrate aufgetragen werden können. Systemkonstruktion für extrem harte Oberflächenbeschichtungen
  • Das System LEYBOLD OPTICS DLC wurde für die Produktion von diamantähnlichen, harten Kohlenstoffschichten (DLC) für IR-Antireflexanwendungen auf Substraten aus Germanium (Ge) und Silizium (Si) entwickelt.
  • Die extrem harten DLC-Schichten schützen die Optikflächen und erhöhen die Infrarot-Lichtdurchlässigkeit.

Die Schichtgleichmäßigkeit ermöglicht Anwendungen, welche ungünstige Lichtbedingungen vorraussetzen

  • Durch die Konstruktion des Gaseinlasses werden die Prozessgase in der Prozesskammer ausserordentlich gleichmäßig verteilt. Somit erfolgt das Aufbringen der Schicht auf das Substrat mit extremer Genauigkeit, was ein Schlüsselaspekt für Anwendungen bei schwachen Lichtbedingungen ist, wie z. B. bei Nachtsichtgeräten, Sensoren zur Abstandsmessung oder anderen Anwendungen, die mit Licht in der IR-Wellenlänge arbeiten.

Das optische vor-Ort-Überwachungssystem sorgt für eine hohe Genauigkeit

  • Aufgrund der geforderten Genauigkeit der Schichtstärke und der Reproduzierbarkeit der Beschichtung muss die Auftragung der optischen DLC-Schichten während des Beschichtungsprozesses kontinuierlich überwacht werden.
  • Das von Bühler Leybold Optics entwickelte optische vor-Ort-Überwachungssystem OMS 5100 gewährleistet, dass die berechneten und konstruierten Schichtsysteme dem tatsächlichen Beschichtungsergebnis auf dem Endprodukt entsprechen und die höchste Qualität beibehalten wird.