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LEYBOLD OPTICS DIS Baureihe V

LEYBOLD OPTICS DIS Baureihe V – Ein leistungsstarkes System für alle vertikalen, beheizten Inline-Sputter-Anwendungen

- Hohe Flexibilität
- Kleine Fläche
- Einfache Wartung

LEYBOLD OPTICS DIS Baureihe V

Die LEYBOLD OPTICS DIS der Baureihe V ist eine vertikale Inline-Sputter-Beschichtungsmaschine, die speziell für die Bedürfnisse einer Reinraumproduktion entwickelt wurde, bei welcher ein minimierter Partikeleintrag von grösster Wichtigkeit ist. Die einzigartige, gefaltete Konstruktion mit Be- und Entlademöglichkeiten der Substrate von einer Seite und der Prozessierung von zwei Seiten gewährleistet den effizienten Einsatz in einer Reinraumumgebung mit minimalem Flächenbedarf. Das System kann grosse Substrate mit Grössen bis Gen 10 beschichten. Je nach Anforderung kann das System als vollständig kontaktfreies Transportsystem konfiguriert werden. Die LEYBOLD OPTICS DIS der Baureihe V ermöglicht eine aktive Aufheizung des Substrats auf bis zu 350 °C und eignet sich für alle Prozesse, bei denen transparente, leitfähige Oxide und dielektrische Materialien verwendet werden. Hohe Flexibilität durch skalierfähiges Layout und leistungsstarke Heizsysteme
  • Das Maschinenlayout kann bis auf Gen 10 skaliert werden, um sich an alle Kundenanforderungen anzupassen.
  • Die LEYBOLD OPTICS DIS der Baureihe V kann die Substrate bis auf 350 °C aufheizen, was ein flexibles Produktportfolio ermöglicht.
  • Es sind Planar- und Rotationskathoden für TCO und dielektrisches Material verfügbar, um in einer einzigen Maschine ein vielseitiges Produktportfolio zu ermöglichen.

Das Rotationsmodul ermöglicht eine kleine Stellfläche.

  • Der beidseitige Prozess mit Rotationsmodul minimiert die Stellfläche und ermöglicht eine reinraumtaugliche Produktion.

Modernes Kathodendesign für schnelle und einfache Wartung

  • Klappbar angeordnete Kathoden ermöglichen eine schnelle und einfache Wartung. Zum Öffnen der Kathoden ist kein Kran erforderlich.
  • Eine gleichzeitige Wartung an allen Kathoden ist möglich.