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HELIOS Vacuum Coater Series

HELIOS Vacuum Coater Series – Das hochpräzise und ertragreiche System für Beschichtungsprodukte der Spitzenklasse

- PARMS-Prozesstechnologie für die präzise Steuerung sehr dünner Schichten auf atomarer Ebene
- Extrem hohe Prozessstabilität
- Co-Sputtern für hohe und niedrige Brechungszahlen
- Massstab setzende Leistung bei der Laserbeschichtung

HELIOS series

Die Baureihe HELIOS von Bühler Leybold Optics ist ein flexibles System für das schnelle, präzise und vollautomatische Dünnschicht-Beschichten. Es wurde speziell für hochwertige optische Beschichtungen mit ausgefeilten Filterkonstruktionen konstruiert und entwickelt.

Trotz Hochtechnologieprozessen ist die HELIOS in der Lage, einen hohen Produktionsausstoß zu erreichen. Extrem dichte, glatte, stöchiometrische und amorphe Schichten gewährleisten eine beispiellose optische Leistung. Das optische Überwachungssystem für vor-Ort-Messungen am Substrat ermöglicht eine ultimative Präzision bei der Schichtstärkenkontrolle.

Herausragende Produktivität und Schichtqualität
  • Durch die moderne PARMS-Technologie (plasmaunterstütztes reaktives Magnetron-Sputtern) wird der Auftrag dielektrischer Schichten von Metalltargets erreicht, unterstützt durch eine HF-Plasmaquelle mit hoher Depositionsrate für hohe Produktivität, was zu Spitzenprodukten mit hervorragender Präzision auf atomarer Ebene und einem hohen Ertrag führt. 
  • Bei jeder Rotation wird eine dünne sub-stöchiometrische Oxidschicht vom ausgewählten Dualmagnetron abgetragen und als eine nicht absorbierende Oxidschicht auf das Substrat übertragen. Der Abtrag des Targets findet an dem Teil des Durchmessers statt, der gerade das Sauerstoffplasma der HF-Quelle passiert. Diese Methode gewährleistet die niedrigsten Verluste und perfekt stöchiometrische Ergebnisse – selbst beim Sputtern von Metalltargets.

Die optische Überwachung ermöglicht eine hohe Produktionsstabilität

  • Die optische vor-Ort-Überwachung direkt am Substrat wird in Intervallen mit einem Prüfglas an einer der Substratpositionen innerhalb des rotierenden Drehtischs durchgeführt. Dadurch erhält man eine extrem hohe Produktionsstabilität und Reproduzierbarkeit der Beschichtung. 
  • Der schnell rotierende Drehtisch ermöglicht die Produktion sehr dünner Schichten im Nanometerbereich sowie eine hohe Genauigkeit.
  • Die Möglichkeit zur direkten und schnellen Übertragung der Konstruktionsdaten der Schichtsysteme auf die Produktion macht die Baureihe HELIOS zur perfekten Maschine für die hochpräzise Produktion einer grossen Vielzahl an Filterkonstruktionen.

Co-Sputtern ermöglicht die Ausführung mittlerer Brechungszahlen

  • Co-sputtering enables the realization of any refractive index between the installed high and low index materials. Additionally, easier designs can be made for a number of applications, such as polarizing beam splitters, by using one or more optimum intermediate indices.

Massstab setzende Laserschaden-Schwellenwerte für Laserbeschichtungen

  • RF sputtering of low index SiO2 material combined with MF sputtering of high index material allows for the highest laser damage threshold values for laser coatings, low scattering and high reflectivity. A further illustration of how HELIOS coaters by Bühler Leybold Optics are setting the benchmark in laser coating performance.