close
Серия вакуумных установок для прецизионной оптики HELIOS

Серия вакуумных установок для прецизионной оптики HELIOS – высокоточная и производительная платформа для получения высококачественной продукции

- технология PARMS для точнейшего нанесения атомарных слоев
- высочайшая стабильность работы
- возможность одновременного нанесения материалов с высоким и низким индексами преломления
- непревзойденная лазерная прочность покрытий

Серия HELIOS

Серия HELIOS компании Bühler Leybold Optics является универсальной платформой для быстрого и точного, автоматизированного нанесения многослойных тонкопленочных покрытий. Оборудование этого типа специально предназначено для нанесения прецизионных оптических слоев и получения сложных фильтров с высокой эффективностью и производительностью. Высочайшая плотность, гладкость, стехиометрия и аморфность слоев гарантируют состоящим из них покрытиям непревзойденные эксплуатационные показатели. Система непосредственного оптического контроля обеспечивает идеальную точность толщины каждого слоя. Выдающаяся производительность и качество слоев
  • При помощи передовой технологии магнетронного распыления с радиочастотной плазменной поддержкой (PARMS) система производит напыление диэлектрических слоев из металлических мишеней при использовании радиочастотного ионного источника. Результат – высокая скорость напыления, высочайшая производительность и качество продукции с высокой точностью на атомном уровне. 
  • При каждом повороте держателя подложек при помощи сдвоенного магнетрона в атмосфере аргонно-кислородной смеси на них наносится тонкий неабсорбирующий оксидный слой, а при прохождении подложки под источником кислородной плазмы нанесенный материал превращается в полноценный оксид. Этот метод гарантирует минимальные потери и отличные стехиометрические показатели покрытий даже при распылении из металлических мишеней.

Оптический контроль для высокой стабильности нанесения

  • Непосредственный синхронный оптический мониторинг производится при выполнении технологического цикла по тестовому стеклу, размещенному на месте одной из подложек на вращающемся держателе. В результате обмена данными между системой контроля и управляющим компьютером установки достигается высочайшая стабильность и повторяемость процесса нанесения.
  • Высокая скорость вращения держателя позволяет с высокой точностью получать слои толщиной лишь в несколько нанометров.
  • Возможность прямого и быстрого внедрения оптических разработок в производство делает серию HELIOS прекрасным выбором для высокоэффективного изготовления разнообразных фильтров.

Параллельное напыление для получения промежуточных показателей преломления
Параллельное напыление позволяет получить на подложках материал с любым показателем преломления, значение которого лежит между показателями преломления мишеней, установленных в системе напыления. Кроме этого, HELIOS позволяет создавать упрощенные схемы нанесения для некоторых фильтров, например, поляризационных делителей, нанося один или несколько слоев с промежуточными показателями преломления.

Высочайший порог лазерной стойкости покрытий
Радиочастотное напыление материала SiO2 с низким показателем преломления в сочетании со среднечастотным напылением материала с высоким показателем преломления позволяет получить максимальные значения порога повреждения лазером для лазерных покрытий, низкое рассеяние и высокую отражательную способность. Это еще один пример того, как установки HELIOS производства Bühler Leybold Optics задают стандарты качества лазерных покрытий.

О подразделении Leybold Optics компании Бюлер

В начале 2012 года компания Leybold Optics GmbH присоединилась к швейцарскому концерну Бюлер. После ребрендинга, проведенного в 2015 году, подразделение Leybold Optics стало официально именоваться Бюлер Alzenau GmbH и вошло в подразделение «Прогрессивные материалы» в составе концерна Бюлер.