close
close

Компоненты для обработки тонких пленок

Модификация свойств тонких пленок

При нанесении материала на подложки или даже после окончания процесса есть возможность влиять на характеристики наносимого покрытия посредством бомбардировки ионами, чтобы изменять его механические или оптические свойства. Компания Bühler Leybold Optics предлагает широкий выбор ионных источников, созданных специально для выполнения индивидуальных производственных задач, в соответствии с размером рабочей камеры.

Плазменные источники

LEYBOLD OPTICS LION
Источник LEYBOLD OPTICS LION RF создан на основе принципа циклотронного резонанса (ECWR). Источник полностью интегрирован в систему контроля Bühler Leybold Optics, предоставляет все преимущества современного управления процессом. Источник оснащен одной ионизационной решеткой, что облегчает обслуживание и обеспечивает низкие эксплуатационные расходы. Источник LEYBOLD OPTICS LION 300 разработан для больших систем нанесения покрытий, таких как SYRUSpro 1350 и SYRUSpro 1510 и обеспечивает массовое производство с оптических деталей с высоким качеством покрытия.

LEYBOLD OPTICS APSpro
Технология LEYBOLD OPTICS APSpro обеспечивают максимальную производительность и эффективность нанесения тонкопленочных покрытий в оптике. Источники APSpro позволяют при низких температурах без дополнительного нагревания создавать однородные оптически плотные покрытия из материалов как с высоким, так и с низким показателем преломления. Технология PIAD (ионно-плазменное осаждение) применяется в основном для таких материалов, как оксиды и нитриды металлов, но может использоваться и для нанесения чистых металлов или оксидов неметаллов.

О подразделении Leybold Optics компании Бюлер

В начале 2012 года компания Leybold Optics GmbH присоединилась к швейцарскому концерну Бюлер. После ребрендинга, проведенного в 2015 году, подразделение Leybold Optics стало официально именоваться Бюлер Alzenau GmbH и вошло в подразделение «Прогрессивные материалы» в составе концерна Бюлер.